MKP
VIC-D220
数字式气体质量流量控制器
流量范围:5sccm 至 400slm
VIC-W210
数字式金属密封气体质量流量控制器
流量范围:5sccm 至 50slm
VIC-D145
数字式大流量质量流量控制器
流量范围:400slm 至 2500slm
CAF-145
低压型大流量质量流量控制器
流量范围:100slm 至 3000slm
PSC-D245
双重阀质量流量控制器
流量范围:100slm 至 2500slm
EPC-220
电子压力控制器,100mbar 至30bar
流量范围请咨询
TSM-D210
数字式气体质量流量计
流量范围:5sccm 至 2000slm
TSM-D260
超大流量质量流量计
流量范围:2000slm至 5000slm
Maru 7000 PI
SEMI标准质量流量控制器,压力不敏感型
流量范围:5sccm 至 30slm
MPR-Z200
可选2CH,3CH,4CH
适用于MFC,MFM