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358 Micro-Ion真空计控制器

Granville-Phillips 358系列控制器专门设计用于获得Granville-Phillips Micro-lon真空规管的最高性能。控制器能够测量从下限1 0-9Torr(10-9mbar,10-9Pa)至5×10-2Torr(7×10-2mbar,7 Pa)范围内的压力,在选配Convectron真空规管的情况下压力测量可以延伸到大气压。

控制器性能可靠,结构紧凑,易于使用,铝挤型、半机架设计便于装配到您的控制机架上。不常使用的控件位于前面板门之后,提供二个整齐有序的外观大尺寸、明亮绿色、无闪烁LED数字显示器使得测量结果清晰易读,即使有一定距离也是如此。

可以对特定系统要求来配置358系列控制器,可以使用多达6个设定点继电器来控制各种系统功能,如切换阀、设置互锁以及设置报警。通过使用RS-232或RS-485/422接口选项也可以集成到计算机控制的系统。


特点

结构紧凑、质量可靠、机架安装式控制器有助于Micro-Ion规管获得最佳性能。

真空压力测试低至10-9Torr范围(10-9mbar,10-7 Pa)。

Convectron真空规选项延伸压力测量至大气压。

灵活的设计便于选配设定点继电器和数字接口。

坚固的金属外壳抗噪音并符合CE认证。

双灯丝增加设备的正常运行时间。

超清洁规管结构在抽气过程中实现快速响应。

Micro-lon测量技术

Granville-Phillips Micro-lon真空规是世界上最小的电离真空规,其压力测量基于带电电子与真空规管中气体分子碰撞所产生的离子电流的量。通过多种改进,在小体积内取得了高性能。这些改进包括获得专利的双离子收集极设计,可以优化电子运动和离子收集。双灯丝最大限度地减少了计划外停机。由于有第二根灯丝做备用规管可以工作到定期维护时再更换。超清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。


GP358系列真空计控制器特性与优点

优化Micro-lon规管性能:控制器专门设计用于获得Micro-lon真空规的最佳性能。通过适当的发射电流设置,Micro-lon规管的工作范围可以涵盖从5×10-2Torr至10 -10Torr (7×10-2至10-10mbar, 7 至 10-8 Pa)。

方便、选择丰富的半机架控制器:机架设计节省了控制机架的空间。利用多种可选功能耒配置控制器以满足自己的需要,这些功能包括双Convectron真空规管读数、处理设定点继电器和数字接口等。铝挤压外壳高度抗对电气噪声,并且完全符合CE认证

3行数字显示:通过明亮、便于阅读、无闪烁、绿色LED显示器,用户一眼即可监控所有三读数

Convectron选择:在真空系统上的两个位置提供准确而可靠的真空压力测量,范围为从大气压至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)。

提高了经济效益:模块化设计使客户可以仅购买所需的功能,而无需花钱购买不想要或不需要的功能。可现场更换选件板实现随需要变化进行轻松升级。

过程控制选件:提供多达六个过程控制设定点继电器以控制其他真空设备,井提供安全互锁。这些数字化控制的继电器性能稳定,调节方便。手动操控功能有助于系统设置和维护

计算机接口选择:利用RS-232或RS-485/422接口可以轻松与计算机控制的系统进行集成。

通用电源:可在90和240伏之间的任何交流电流电压下工作。


Micro-Ion真空规特性与优点

世界上最小的电离规:Micro-Ion规管的体积只有不到常规玻璃管规或裸规体积的10%,可轻松安装到复杂、排列紧凑的真空系统中。

高性能:获得专利的双离子收集极设计増加了电子路径长度并提高了离子收集效率,在小体积内取得了高性能。

双灯丝:双耐烧氧化钇涂层铱制灯丝提供长规管寿命。有第二根灯丝做备用可以使规管工作到定期维护时再更换,可避免计划外停机。

工作温度更低:只有传统玻璃管规或裸规功耗的仅8%,Micro-lon规管产生的热辐射对工艺或实验干扰大幅降低。

端口屏蔽:在组件或真空室保养期间保护电极组件免受损坏,并为改善测量性能提供一个稳定的电气环境。

全金属外壳:防止安装过程中损坏栅极和灯丝,消除玻璃破碎的风险。

真空接口选择范围广:简化真空系统的安装过程。

技术规格

技术规格

空气与N2的测量范围
(见注释1、2)

Torr

1X10-9至5X10-2(至1000Torr,选配Convectron时)

mbar

1X10-9至7X10-2(至1300mbar,选配Convectron时)

Pa

1X10-7至7(至130Kpa,选配Convectron时)
显示器
绿色LED,2位加指数
更新率:每0.5秒
发射电流
0.02、1、4Ma,通过选择开关选择
除气
电子轰击,4W,带2分钟定时器
灯丝选择
灯丝1、灯丝2或者二者,通过选择开关选择
过压保护
在出厂设置压力上限时电离规关闭
Micro-Ion模拟输出
1V/量级,对数,0至10V
最大Micro-Ion线缆长度
15米,标准线缆

输入信号

灯丝开/关,除气开/关以及选定的瞬间连续性

输出信号

由一个单刀双掷继电器指示规管状态
额定值为1A 30VDC阻抗,交流无感电
电源
100至240VAC,50~60Hz,50W最大值
重量
1.8Kg
连接器
9针D-Sub连接器
工作温度
0至40℃环境温度,非冷凝
非工作温度
-40到70℃
外壳材料
型铝
符合CE标准
CE认证
EMC指令89/336/EEC;EN50081-2;EN80082-2
低电压指令73/23/EEC;EN61010-1
Convectron选项
两个规管工作

模拟量输出

1V/数量级,对数,0至7V,-7至1V可调便宜

最大电缆长度

152.4M

过程控制选件


配置

单刀双掷(SPDT)继电器

触点额定值

5A 30VDC,5A 120VAC,4A 240VAC,阻抗负载
数字接口
RS485/422 ,RS232

Micro-Ion规管


对N2或空气的灵敏度

20/Torr,15/mbar,0.15/Pa

X射线极限

<3 X 10-10Torr, <4 X 10-10mbar, <4 X 10-8Pa(见注释3)

传感器材料

氧化钇涂层铱丝或钨丝(见注释4)

暴露于气体的其他材料

304不锈钢,氧化铝,kovar合金,钽,钨,CuAg共晶

内部容积

10.8cm³(0.66英寸3)至接口端面

规管重量

113g(带KF16接头)

真空规烘烤温度

最高值200℃,非工作状态,拆除电子设备

电缆烘烤温度

150℃,最大值
Convectron规管

安装位置

首选水平

传感器材料

镀金钨丝

暴露于气体的其他材料

304不锈钢,硼硅玻璃,kovar合金,矾土,NiFe合金,聚醯亚胺

内部容积

35cm³

规管重量

85g(1/8NPT)

真空规工作温度

0至50℃环境温度,非冷凝

真空规烘烤温度

最高值150℃,非工作状态,拆除电子设备

电缆烘烤温度

105℃,最大值

1.测量结果随不同的气体及混合物而有所变化在使用说明书中提供有常见气体的校正曲线Micro-Ion规管和Convectron规管不可用于易燃易爆气体。

2.要测量低于压力1×10-7Torr(1×10-7mbar,1×10-5Pa),建议使用ConFIat型或VCR型真空连接。

3.X射线极限是真空计绝对最低显示。接近X射线极限进行可重复测量不可行。

4.钨丝用于涉及含有氟、氯的气体或含有污染氯化钇涂层铱丝的其他气体。一般真空应用不建议便用钨丝,因为钨丝暴露于高压时有可能烧断。

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