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SQM-160 薄膜沉积监控器

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。

传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。此外,还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数

特点

两个标准测量通道,另外四个可选

模拟输出便于记录速率/厚度

高分辨率选件:0.03 Hz,10 读数/秒

RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网

技术规格

型号
SQM160标准分辨率SQM160高分辨率
QCM输入2(可选4)
测量频率范围可调:
1.0 MHz最低
6.5 MHz最高
频率分辨率
0.1s测量间隔
± 0.30Hz
± 0.03Hz
厚度和速率分辨率/测量
工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6赫兹,0.1秒测量间隔
±0.37 Å
±0.037 Å
频率稳定性± 2 ppm, 0至50℃
测量周期0.10至2s(可调)
控制
存储膜系
模拟输出
数字输入/输出

99
2个0-5V直流,速率和膜厚
2个输入,四个继电器输出
电气接口RS232标准(USB、以太网口可选)
电源电压100-240VAC,20W
标准CE,RoHS

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