半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
MARU5000系列是最初的半导体自做用MFC. 从5SCCM到200SLM可以制止流量半导体以画面里制造用Dry Etch, CVD公定里主要使用而且一个顾客多种环境方面为了符合薄版本 MARU5000系列Compact类型也提供.数码。
特点
标准数字 MFC
快速响应时间: ≤1Sec
高精度: ≤1% of S.P
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
支持纤薄型MFC: 紧密型
支持MGMR功能
通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | Maru 5000 | ||||
| 流量范围（N2等效） | 5SCCM~30SLM | ||||
| 流量控制范围 | 2~100% of F.S | ||||
| 精确度 | ≤±0.25%读数（2~25%量程） ≤±1.0%满量程（25~100%量程） | ||||
| 响应时间 | ≤1秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±0.15%满量程 | ||||
| 阀门关闭时的内部泄漏 | ≤0.01% of F.S | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) | ||||
| 阀座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件类型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 5~50˚C (Recommended : 15~35˚C) | ||||
| 预热时间 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 最大入口压力 | 300 kPa(G) | ||||
| 工作压差 | ≥50kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | +15~24VDC, 7.2W max or ±15VDC 6W max | ||||
| 阀门类型 | Normally Closed Solenoid | ||||
质量流量控制器订购参数确认单