SQM-220薄膜沉积控制器
SQM-220薄膜沉积控制器
SQM-220薄膜沉积控制器高达6个通道的输入和两个额外的真空计通道，加上7英寸TFT显示使SQM-220更加通用和方便。可以将传感器的输入分配给具有不同参数的不同材料，由DSP处理器控制的高速高精度测量过程提高了薄膜的质量和可重复性。具有精度高、稳定性好、仪器配置合理等特点。自动保存功能，保存的参数/单位预置，在重启后可以自动应用。
特点
6个通道，用于带石英天平的厚度监视器传感器
7”TFT触摸面板显示
直观的多语言界面
二维实时图表模块（可选）
紧凑的设计
两个真空计通道
多达8个shutters和I/O可重新编程
继电器输出
用于速率和厚度监控的可编程模拟输出，具有16位分辨率
通讯接口:RS232/485，以太网IP
行业标准6MHz晶体
频率分辨率:0.1 Hz(适用于220-010)或0.01 Hz(适用于222-010)
快速的SE和LabVIEW库
可操作两个多晶传感器头(气动或步进电机)
19“机架装配或独立
一键式材料更改
常用材料的收藏夹列表
保存个人用户配置文件
内置视频教程
应用
用于精确速率测量的可用软件。记录石英晶体振荡器的频率在时间上的变化（以图形的形式）。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发速率。适用于如MBE应用
技术规格
| 传感器输入通道 | 6 |
| 膜厚 | 0 - 9999000 Å |
| 速率 | 0 - 9999 Å/s |
| 兼容的传感器 （两个通道） | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION等 |
| 频率分辨 | 0.1 Hz (220-010) ；0.01 Hz (222-010) |
| 频率范围 | 2-6MHz |
| 膜厚分辨 | 220-010: 0.1 Å ；222-010: 0.01 Å |
| 速率分辨 | 220-010: 0.1 Å/s ；222-010: 0.01 Å/s |
| 频率稳定性 | 0.5ppm |
| Tooling factor | 1 – 400% |
| 测量单位 | Å,KÅ,nm |
| 测量类型 | 100ms至2s（取决于220-010/222-010） |
| Shutter控制 | 手动，时间，膜厚 |
| Shutter时间 | 1 - 1000000 s |
| 真空计输入通道 | 2 |
| 压力单位 | mbar, Pa, Torr, Psia |
| 除气时间 | 1-3分钟 |
| 输出 | 8个继电器输出(2个输出有COM NC和NO触点) 2个模拟输出: 0-10V(厚度、速率、压力) |
| 输入 | 4个数字输入(24V逻辑) |
| 通讯接口 | RS232/485,Ethernet |
| 用户界面 | 7寸TFT触摸屏 |
| 语言 | 英语，德语 |
| 通讯协议 | MODBUS-TCP |
| 尺寸 | 212.6 x 128.4 x 260.9 mm |
| 重量 | 3Kg |
| 电源要求 | 100-240VAC, 50/60Hz, Max 100W |