成都四洋科技有限公司官方网站

SQM-220薄膜沉积控制器

SQM-220薄膜沉积控制器高达6个通道的输入和两个额外的真空计通道,加上7英寸TFT显示使SQM-220更加通用和方便。可以将传感器的输入分配给具有不同参数的不同材料,由DSP处理器控制的高速高精度测量过程提高了薄膜的质量和可重复性。具有精度高、稳定性好、仪器配置合理等特点。自动保存功能,保存的参数/单位预置,在重启后可以自动应用。

特点

最多6个通道,用于带石英天平的厚度监视器传感器

7”TFT触摸面板显示

直观的多语言界面

二维实时图表模块(可选)

紧凑的设计

两个真空计通道

多达8个shutters和I/O可重新编程

继电器输出

用于速率和厚度监控的可编程模拟输出,具有16位分辨率

通讯接口:RS232/485,以太网IP

行业标准6MHz晶体

频率分辨率:0.1 Hz(适用于220-010)或0.01 Hz(适用于222-010)

快速的SE和LabVIEW库

最多可操作两个多晶传感器头(气动或步进电机)

19“机架装配或独立

一键式材料更改

常用材料的收藏夹列表

保存个人用户配置文件

内置视频教程

应用

用于精确速率测量的可用软件。记录石英晶体振荡器的频率在时间上的变化(以图形的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发速率。适用于如MBE应用

技术规格

传感器输入通道

6

膜厚

0 - 9999000 Å

速率

0 - 9999 Å/s

兼容的传感器
(两个通道)

CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION等

频率分辨

0.1 Hz (220-010) ;0.01 Hz (222-010)

频率范围

2-6MHz

膜厚分辨

220-010: 0.1 Å ;222-010: 0.01 Å

速率分辨

220-010: 0.1 Å/s ;222-010: 0.01 Å/s

频率稳定性

0.5ppm

Tooling factor

1 – 400%

测量单位

Å,KÅ,nm

测量类型

100ms至2s(取决于220-010/222-010)

Shutter控制

手动,时间,膜厚

Shutter时间

1 - 1000000 s

真空计输入通道

2

压力单位

mbar, Pa, Torr, Psia

除气时间

1-3分钟

输出

8个继电器输出(2个输出有COM NC和NO触点)

2个模拟输出: 0-10V(厚度、速率、压力)

输入

4个数字输入(24V逻辑)

通讯接口

RS232/485,Ethernet

用户界面

7寸TFT触摸屏

语言

英语,德语

通讯协议

MODBUS-TCP

尺寸

212.6 x 128.4 x 260.9 mm

重量

3Kg

电源要求

100-240VAC, 50/60Hz, Max 100W

版权所有© 成都四洋科技有限公司官方网站    蜀ICP备14007155号    技术支持: 竹子建站