磁悬浮复合分子泵
磁悬浮复合分子泵
Osaka复合分子泵使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
特点
全方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
应用
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
技术规格
型号 | TG390M | TG420M | TG900M | TG1300M | TG2400M | |
法兰 | 吸气口ISO-R/CF | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
排气口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排气速度 | N2（附加金属过滤网） | 320L/s | 370L/s | 860L/s | 1230L/s | 2300L/s |
H2 | 290L/s | 300L/s | 1050L/s | 1200L/s | 1100L/s | |
大压缩比 | N2 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | 4.5×103 | 1.5×104 | 1.5×104 | 1.5×103 | |
极限压力 | ISO-R/CF | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
可达气体流量 | N2（sccm） | 2000 | 2000 | 3000 | 3000 | 3000 |
推荐辅助泵 | ≥160L/min | ≥160L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容许辅助压力 | 400Pa | 400Pa | 500Pa | 500Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 14/17 | 14/17 | 34/42 | 34/42 | 45/54 |