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磁悬浮复合分子泵

Osaka复合分子泵使用磁悬浮轴承实现无油的排气,而且维护周期长。提供排气速度300L/s~3400L/s的产品。

特点

全方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE

应用

半导体制造

电子枪排气,离子源排气

FPD制造

表面处理,表面改质

各种电子部件的制造

分析,试验装置

管球制造,光学部件制造

加速器,放射线设施,核聚变研究

热处理

研究开发

技术规格

型号

TG390M

TG420M

TG900M

TG1300M

TG2400M

法兰

吸气口ISO-R/CF

100

160

160

200

250

排气口

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

排气速度

N2(附加金属过滤网)

320L/s

370L/s

860L/s

1230L/s

2300L/s

H2

290L/s

300L/s

1050L/s

1200L/s

1100L/s

最大压缩比

N2

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

H2

4.3×103

4.5×103

1.5×104

1.5×104

1.5×103

极限压力

ISO-R/CF

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa

最大气体流量

N2(sccm)

2000

2000

3000

3000

3000

推荐辅助泵

≥160L/min

≥160L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥500L/min

容许辅助压力

400Pa

400Pa

500Pa

500Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

14/17

14/17

34/42

34/42

45/54

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