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CCR361电容膜片真空计

Pfeiffer全新的 CenterLine 真空计,“尺寸、连接和输出信号和Leybold 100 %兼容”,使用普发真空的 CenterLine 系列产品,您可以轻松更换或补充现有设备。CenterLine 使用最先进的控制器,可以通过 USB 以及以 太网接口进行通讯,而用户可以使用其色彩鲜明的 LCD 屏幕更为 轻松地读取测量值。真空计由控制器自动探测,使得安装更为安全 与简单、轻松。除模拟输出以外,一些真空计还有设定值,从而更好地进行过程控制。

CCR361是电容薄膜真空计,精确测量真空压力值,测量无关气体组分;CCR371系列是45℃加热型版本。

特点

供电电压:14 – 30 V

输出信号:0 – 10 V

具有陶瓷工艺的传感器

无记忆效果

杰出温度补偿

出色的零点稳定性

输出信号,与 MKS Baratron 兼容的接头

带测试报告

精度:0.2 % 测量值

应用

研究设施

分析设备

研究和生产涂料设施

泄漏检测系统

半导体开发和生产

光伏

工业真空工艺系统

技术规格

输出信号: 测量范围

0 – 10 V

供电:最大消耗

≤ 1 瓦

准确性:测量值的 %

0.2 %

响应时间

30 毫秒

带媒体接触的材料

陶瓷 (Al2O3 = 99.5 %)

最大压力

3000 mbar

法兰段烘烤温度

110 摄氏度

测量方法

电容

测量电缆长度

100 米

温度影响:在范围

0,01 % 测量值 /°C

温度影响:在零点

0,005 % F.S./°C

温度:储存

-40 – 65 °C 摄氏度

环境温度

5 – 50 °C 摄氏度

电源:直流电电压 (V)

14 – 30 V DC

管和法兰

不锈钢

膜片和测量室

陶瓷 (Al2O3 = 99.5 %)

输出信号:最小载荷

10 千欧

重量

370 克

≤ 3.6 立方厘米

防护等级

IP30

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