深冷泵
Water Vapor Cryochiller
深冷泵
Water Vapor Cryochiller
水汽捕集泵（Water Vapor Cryochiller）， 主要用于辅助抽真空以及改善真空质量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之间捕集真空腔内水汽和油分子, 提升产品的产能和成膜质量.。
原理
在真空腔体内，水气分子是环境污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，为了快速的达到较高的真空度，水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，极短的时间达到 需求的真空度。
应用
工厂大批量镀膜
实验及科研院所-镀膜
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Brooks深冷捕集泵、水汽深冷泵、Polycold冷冻机
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Polycold深冷机型号：
PFC-100
PFC-551HC
PFC-552HC
PFC-650HC
PFC-660
PFC-660HC
PFC-661HC
PFC-662HC
PFC-670HC
PFC-672HC
PFC-1000HT
PFC-1100HT
PFC-1100HC
PFC-1101HC
PFC-1102HC
Maxcool 2500L
Maxcool 4000H
Telemark深冷泵型号：
TVP3500
TVP2000
TVP1000
日本shinmaywa深冷泵型号：
RCT762
日本Mac公司水汽捕集泵型号：
MAC-1101RCC
MAC-751RCC
韩国三星深冷泵：SCP-3000/2000
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