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干式螺杆真空泵

Osaka ER100D节能型干式螺杆真空泵,ER100DC抗腐蚀性气体应用版本可选。

特点

同型号干式真空泵中的顶级节能,小型・轻量。

ER100D:适用于轻负载洁净工艺的排气
ER100DC:使用了耐腐蚀能力强的材料,可排腐蚀性气体

应用

洁净排气

溅射装置的排气

分子泵等高真空泵的辅助泵

装载室,搬送式排气

小型实验设备的排气

吸附或搬送

分析

测量仪器的排气

真空炉排气

电子枪,离子源的排气

技术规格

型号ER100D/ER100DC(耐腐蚀型)
排气速度(L/min)1670
极限压力(Pa)5
N2吹扫用气体流量(Pa.m³/s)17-20
冷却水用量(L)1.5-3
冷却水温度Max 30℃
电源电压(V)200-240
频率(Hz)50/60
相数三相
电源容量(KvA)3.2
功率(W)极限压力时400
冷却方式水冷
重量(Kg)60
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