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薄膜沉积控制器

SQC-310 薄膜沉积控制器凭借先进的技术、增强的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类薄膜控制器无法企及的优势。您可以为自己的应用选择理想的型号:连续沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

特点

明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本

标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)

设有 “Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作

用于开发、测试和下载过程的 Windows程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序

精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz

存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料

使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控

技术规格

型号
SQC310SQC310C
QCM输入2(可选4)4
测量频率范围可调:
1.0 MHz最低
6.5 MHz最高
频率分辨率
0.25s测量间隔
± 0.012Hz
厚度和速率分辨率/测量
工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6赫兹,0.25秒测量间隔
±0.015 Å
频率稳定性± 2 ppm, 0至50℃
测量周期0.10至1s(可调)
速率显示0.01 Å/sec
控制
存储
输出信号
数字输入

100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
0至+10VDC
5VDC-非隔离
设定点继电器8/8(16/16可选)16/16
电气接口RS232标准(USB、以太网口可选)
电源电压100-240VAC,25W
标准CE,RoHS

订购资料



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