低压式大流量质量流量控制器
低压式大流量质量流量控制器
CAF-150质量流量控制器，体积紧凑，可以低压下控制大流量，产品同时支持传统模拟量和RS485数字信号，满足大部分气体控制的通用需求。
特点
体积紧凑，便于安装
可以低压下控制大流量，流量范围从100L/min到3000L/min
直洞式设计，响应速度更快
自带过滤器适用于洁净制程
比例活塞阀及薄膜阀，耐久性强
技术规格
| 型号 | CAF-145 | CAF-150 | CAF-155 | ||
| 流量范围（N2基准） | 100slm~500slm | 500slm~2000slm | 2000slm~3000slm | ||
| 流量控制范围 | 2 ~ 100%满量程 | ||||
| 精度 | ≤±2%满量程 | ≤±2.5%满量程 | |||
| 响应速度 | ≤1.2秒 | ≤1.8秒 | |||
| 重复性 | ≤0.2%满量程 | ||||
| 阀门类型 | 常闭阀 | ||||
| 密封种类 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||
| 电气连接及信号 | 9针D-Sub公头 模拟：0-5VDC或4-20mA 数字：RS485 | ||||
| 电源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作温度 | 操作温度：5-50℃（推荐15~35℃） | ||||
| 预热时间 | 15分钟（准确度保证：30分钟） | ||||
| 法兰连接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR（根据型号） | ||||
| 重量 | 7Kg | 10Kg | 14Kg | ||
产品尺寸
质量流量控制器订购参数确认单