数字式质量流量控制器-金属密封
数字式质量流量控制器-金属密封
VIC-W200系列金属密封型数字式质量流量控制器(MFC),产品同时支持传统模拟量和RS485数字信号,气体通路及密封件采用金属密封及聚四氟乙烯材质,适用于所有毒性气体、腐蚀性气体、易爆性气体或高压环境。
特点
全测量区间内响应速度≤1秒
金属密封及PTFE,对有毒及腐蚀性气体,易爆性气体耐久性强
同时支持RS485和模拟量信号
适用浪涌和过电压的内部电路设计
维持准确度,温度变化不敏感
进出口可熔接,完全防止产品漏气
技术规格
型号 | VIC-W210 | VIC-W220 |
流量范围(N2 换算基准 ) | 5sccm至1.5slm | 1.5slm至50slm |
控制流量范围 | 2 ~ 100%满量程 | |
准确度 | ≤±1%满量程 | |
响应时间 | ≤1秒(10~100%满量程) | |
线性度 | ≤±0.2%满量程 | |
再现性 | ≤±0.2%满量程 | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
密封类型 | 金属密封+FEP封装O型圈 | |
通讯方式 | 模拟:0-5VDC或4-20mA 总线:DeviceNet | |
电气接头 | 9针D-Sub公头 | |
电源 | +15VDC至+24VDC | |
温度 | 操作温度:5-50℃(推荐15~35℃) | |
预热时间 | 15分钟(准确度保证:30分钟) | |
法兰连接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR(根据型号) |
产品尺寸
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