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HPG400皮拉尼高压强电离真空计

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀膜溅射过程压力。

特点

HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性

高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制

用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动

皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

符合 RoHS 标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜-溅射镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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