61.6 真空蝶形控制和隔离阀

快速的下游压力控制和隔离

61.6 HV控制蝶阀提供出色的压力控制和隔离性能。凭借其快速而精确的动作控制器（0.45秒），它是CVD工艺中精细控制和隔离的完美解决方案。蝶板作为一个节流元件，改变了阀口的传导性。61.6的集成压力控制器计算出所需的板块位置，以尽可能快地达到设定的压力。

61.6系列的隔离功能是专门为避免蝶阀特有的较高的密封磨损而设计的。通过它的中心外板轴以及阀体和密封座的特殊几何形状，密封摩擦降到较低，密封性能得到提高。

61.6系列已经安装在数以千计的各种工艺条件下的苛刻应用中，已经证明了其出色的可靠性。61.6系列具有坚固的设计和直接安装选项，以及减少和方便的维护，在所有方面都表现优异。

本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下流/软泵）方面的各种设计选项简化了61.6系列与各种真空应用的整合。