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AIM冷阴极真空计

Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计,在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出,nAIM支持RS232和RS485信号输出,易于与计算机或 PLC 结合使用。

特点

电子模块与规头合并在一起,降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间

低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供高级别的抗扰性,并允许使用长电缆(最长可达 100 m)

低磁场型 XL 适用于敏感性应用,例如质谱分析和电子显微镜。

可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准

已获 CSA C/US 认证

范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,对电压波动有很好的承受力

0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示

nAIM支持串口信号输出:RS232/RS485

电极维修套件允许用户进行清洁和维护

独特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电

宽广的压力范围

应用

适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。

典型制程包括:

一般真空到工业镀膜机

真空炉

科学仪器

半导体等各种应用。

技术规格

压力范围


AIM-X

10-2 至 10-9 mbar

准确度*

通常为 ±30%

最大过压

10 bar 绝对 (145 psi)

电源供给

+13.5 至 +36 V 直流(最大 1 V 波动)

功耗

2 W(最大)

输出信号(AIM)

2 至 10 V 直流

输出信号(nAIM)RS232或RS485

设定点

开路集电极晶体管

最大电压

40 V 直流

电流

100 mA(最大)

温度范围


工作

+5 至 +60°C

存储

0 至 +70 °C

暴露于真空中的材料

 

NW25 型

不锈钢 304/306/347、氟橡胶、玻璃

内部体积

26 cm3

重量

0.81 kg

外部接口连接器

FCC68/RJ45 插座,D-sub 9针接口

真空接头

NW25

标准

 

电磁兼容性

EN 61326


(B 类排放)

外壳等级

IP40

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