半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
使用BARON3000 系列可以远程调控压力. 并且一般来说压力会随着流量的增加而减小,使用BARON3000系列 维持顾客设置的压力. MKP适应市场需求压力控制和流量实时测试的 BARON3100系列开发提供.这系列是原片的温度以调节提高工序收率为目的广泛使用.
特点
电子压力控制器
压力控制范围广: 10Torr ~ 3000Torr
快速压力控制时间: ≤1Sec
支持实时进行流量检测(Only BARON3100s)
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
通讯: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | BARON3000 | ||||
| 流量范围（N2等效） | None | ||||
| 压力控制范围 | 2~100% of F.S | ||||
| 压力范围 | 10Torr~100Torr | ||||
| 孔口满刻度范围 | 100SCCM-50SLM | ||||
| 精确度 | ≤0.5% of F.S | ||||
| 响应时间 (压力控制) | ≤1Sec | ||||
| 控制模式 | Downstream standard (Upstream optional) | ||||
| 工作压差 | 100SCCM~ 10SLM : ≥137kPa(D) 10SLM ~ 50SLM : ≥275kPa(D) | ||||
| 最大入口压力 | 400kPa(G) | ||||
| 爆裂压力 | 800kPa(G) | ||||
| 温度系数 | 0.01% of F.S./℃ | ||||
| 工作温度范围 | 5~50˚C (Recommended : 15~35˚C) | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 阀门关闭时的内部泄漏 | ≤0.1% of F.S | ||||
| 零稳定性 (流量计) | None | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | +15~24VDC,7.2W max or ±15VDC 6W max | ||||
| 阀门类型 | Normally ClosedSolenoid | ||||
质量流量控制器订购参数确认单