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压力控制系统

APC200与GPC3000压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC),与之相应的压力信号连接显示器,同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。

特点

至多可以连接4个MFC的PCB卡,每张PCB由2通道(2个MFC)组成。

标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项),实现所有远程控制都是可能的。

技术规格

阀门操作

ATV1000排气节流阀,MKS型653和253排气节流阀及其他

压力输入信号

标准0-10Vdc

输入功率要求

90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

设置点

可编程的

外部模拟

总共5个,可在任何组合中编程,用于压力或阀位置

(可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232)

0-10VDC

控制器重复性

±0.1% F.S

环境运行温度

15℃ - 45℃

输出功率

±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

模拟量输出信号

0 - 10vdc用于0-100%阀门位置,0 - 10vdc用于1-100%满量程压力

尺寸

1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高

显示

LCD(压力、位置和外部设定点读数)

显示单位

Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准

PID控制

标准

远程零点

标准

接口

前面板设置,模拟,TTL和RS232,(RS-485选项)

继电器输出

2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻

远程控制

(打开、关闭、保持)

标准

位置控制能力

标准

ATV1000排气节流阀

ATV1000是用来调节真空腔体压力的,可以控制大范围的压力。ATV1000是设计与GPC3000兼容使用的。

ATV1000-B在阀内安装了调节电导的板,和百叶窗形态一样,与其他阀不同的排期节流阀,即使板是90度开启,也不干涉腔体其他的部件,板可以自由动作。为了空间的一些适配管道与法兰,都没有必要安装,整体上节省了真空装备的体积和价格,并开发了大型尺寸的阀门。

特点

使用高速电机、大大缩短了位置点抵达的时间,提高设备的吞吐量而设计的。

ATV1000可以与GPC3000控制器连接使用,其他公司产品的控制器也可以连接使用(如MKS)

“节流阀”将挡板的位置在用户外部也可以确认,即便阀的动作是否在装备中脱离,可以确认。

“节流阀”法兰通常使用ISO-NW,但根据顾客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法兰。

ATV1000-B优势

                                        ATV1000-B阀门式样


技术规格

阀门速度(开闭)

1.5sec

分辨率

1/24000

驱动方式

PID单独传动

阀体最高工作温度

标准:0-100℃

可选:0-150℃

阀工作环境温度

-20℃至40℃

阀的压差

1atm(15psi)-最大

泄漏率

1x10-8sec/sec He

暴露在工艺中的材料

标准:304,Viton(密封材料可选)

可选:316,Viton(密封材料可选,具体联系工程师)

兼容的控制器

GPC3000,MKS 651 or 1651

控制器输出转矩

800 in-oz

关闭-泄漏率

(带有O型圈的阀门)

<10-7(Torr l/s)>

ACM200电容薄膜真空计

ACM200 电容薄膜压力计,通常安装在真空腔体或管道上,读取实时压力,±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的,广泛用于半导体工程和真空工业设备。

特点

直接测量方式测量压力

无关气体组分影响

可应用于腐蚀性气体环境,适合于各类制程应用

可搭配Atovac仪表,实时显示

测量范围从10E-4Torr至1000TOrr,覆盖大多数制程压力范围

技术规格

压力范围(满量程)

1、2、10、100、1000

最低压力

0.01%满量程

精度

±0.25%读数

可选:±0.15%读数

温度效应

零点

跨度


0.002% 满量程/°C

0.02% 读数/°C

工作环境温度

0℃至50℃

暴露于气体中的材料

铬镍铁合金

泄漏率

1x10-8sec/sec He

最大压力

310Kpa

电源要求

±15VDC (±5%) @ 35 mA

输出信号

0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

法兰

8 VCR, NW16KF

质量流量控制器

MFC是“质量流量控制器”的缩写,气瓶上出来的气体,用户有时所需的是一定流量的值。虽然每个制造厂商都有一些差距,但一般都采用SCCM(标准立方厘米/分钟)。

特点

设计用于半导体制程和工业使用

满量程流量从5sccm至200slm

1%满量程的精度

可搭配GMC1200仪表显示,也可用于APC200、GPC3000等仪表组成压力控制系统

技术规格

流量范围(满量程)

AFC500/AFC600:5sccm至50slm

AFC770:51至200slm

最大进气压力

150psig

正常工作压差(与在大气压,MFC出口)

10至5000sccm

10000至20000sccm

AFC770


10至40 psid

15至40psid

40至70psid

精度(模拟量)

(包括760Torr和0℃下的非线性、滞后和非重复性)

±1%满量程

重复性

±0.2%满量程

分辨率

1%满量程

温度系数

零点

跨度

<0.05 % 满量程./°C

<0.05 % 满量程.

预热时间(达到稳态性能的0.2%以内)

<2分钟

控制器调节时间

<2sec

压力系数

<0.02 % of Rdg./psi

工作温度范围

0-50℃

电源

±15 VDC (±5%)

设定值命令信号

0-5Vdc

输出信号

0-5Vdc

法兰

VCR, LOK

接口

9针D-sub

材料

316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

外部泄漏完整性(scc/sec He)

通过关闭阀门

< 1×10(-9)

<1.0%的F.S.,在40 psig的大气入口(为确保无流量通过,建议使用单独的正压切断阀。)

压强控制系统示意图


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