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CDG045D电容膜片真空计

INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的真空应用。

特点

拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准

合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性真空过程

一般薄膜和真空过程

作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准

符合传递标准,确保测量可追溯性

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