新型冷阴极真空计
新型冷阴极真空计
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是真空测量应用优秀的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
特点
在恶劣环境下,使用寿命长
低杂散磁场
零维护 - 可换插头
超紧凑尺寸
可靠的快速点火
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流
应用
基本真空测量和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。
技术规格
型号 | MAG500 | MPG500 | |||
测量类别(倒磁控管原理) | 冷阴极电离真空计 | 冷阴极/皮拉尼复合真空计 | |||
测量范围 | 10E-9至10E-2 mabr | 10E-9至1000 mabr | |||
精度(N2) 10E-8至10E-2 mbar | ≈±30%读数 | ||||
重复性 | ≈±5%读数 | ||||
输出信号 3MBx-00x-0x0P(MPG500) 3MAx-00x-0x0N 3MAx-00x-0x0Q | +1.5至+8.5V +0.667至10V | +1.398至+8.598V | |||
电源电压 功率 | +14.5至+30Vdc ≤2 W | ||||
工作电压 | ≤3.3Kv | ||||
工作电流高 | ≤500uA | ||||
工作电流低 | ≤100uA | ||||
电气连接件 | FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽;D-sub 9针 | ||||
工作温度 | +5至+55℃ | ||||
烘烤温度 拆除电子部分 | ≤150℃ | ||||
安装方位 | 任何 | ||||
防护等级 | IP40 |
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