CDG025D-X3电容膜片真空计
CDG025D-X3电容膜片真空计
INFICON SKY CDG025D-X3 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供零位稳定性(包括气压突变的情况),预期使用寿命长达数百万次压力循环。传感器屏蔽可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D-X3 具有开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能。
特点
从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐蚀陶瓷传感器
长期信号的优秀稳定性
温度补偿
传感器受双重防污染保护
一键调零功能
宽范围电源
2个设定点
RS232 接口
无尘室合规
应用
用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
数据存储和显示器制造设备
工业真空设备
经济、高度精确的压力测量
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