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CDG025D-X3电容膜片真空计

INFICON SKY CDG025D-X3 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性(包括气压突变的情况),预期使用寿命长达数百万次压力循环。独有的传感器屏蔽(专利申请中)可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D-X3 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

特点

从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程

电源接通后快速稳定

暴露于大气压后快速恢复

防腐蚀陶瓷传感器

卓越的长期信号稳定性

温度补偿

传感器受双重防污染保护

一键调零功能

宽范围电源

2个设定点

RS232 接口

无尘室合规

应用

用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备

数据存储和显示器制造设备

工业真空设备

经济、高度精确的压力测量

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