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潘宁真空计

INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。

特点

测量范围可达 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)

全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入装置

新创的电极几何形状提供卓越的点火属性

等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间

阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换

最小化真空计附近的磁场强度

LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态

对数模拟输出信号

现场总线接口(Profibus DB、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

应用

高真空压力监控

蒸发镀溅系统

高真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

型号
PEG100
测量范围
1 × 10E-9至10E-2 mabr
精度(N2)

≈±30%读数
重复性
≈±5%读数
输出信号

0 至 +10.6VDC
电源电压
功率
+14.5至+36Vdc
≤2 W
电气连接件
FCC 8脚
工作温度
+10至+50℃
安装方位任何
防护等级IP40

*总线通讯技术规格请咨询客服

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