Passive Gauge
Passive Gauge
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从超高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar超宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围更广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
皮拉尼规管
PRG20K–NW16 AI
铝制传感器单元与钨丝
改进的温度补偿
PRG20K–DN16CF SS
钨丝和不锈钢传感器单元
耐过压
PRG20KCR–NW16 SS
铂丝与不锈钢传感器单元、陶瓷馈通件
非常适合于腐蚀性过程和水蒸气环境
特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
技术规格
型号 | PRG20K–NW16 AI | PRG20K–DN16CF SS | |
测量范围 | 5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr) | ||
工作温度范围 (补偿) | 0至+40℃ | ||
较大环境温度 | 80℃ | ||
灯丝 | 钨丝 | ||
灯丝温度 | 110℃ | ||
较大耐压 | 3bar | 10bar | |
体积 | 约11cm3 | ||
法兰 | NW16 | CF16 | |
接触材质 | 铝,Vacon、玻璃、 钨,CrNi 8020镀镍 钢铁、环氧胶粘剂 | 不锈钢,Vacon, 钨,CrNi 8020陶瓷, 氧化铝、镍铁42 | |
兼容的控制器 | PGC201/PGC202 |
潘宁规管
CPG35K-NW25
CPG35K-NW40
CPG35K-DN40CF
CPG35KB-DN40CF
特点
坚固耐用
对暴露大气和振动环境不敏感
易于拆卸和清洗
可更换的阴极板
优化的阴极点火特性
技术规格
型号 | CPG35K | CPG35KB |
测量范围 | 1 x 10-9 至 10-2mbar ( 0.75 x 10-9 至 10-2 Torr) | |
高压电源(阳极电位) 触发电压 操作电压 | 3.3Kv 1.6Kv | |
存储温度 | -25℃ 至 +80℃ | |
额定工作温度 | 0至+80℃ | |
烘烤温度(法兰处) | 200℃ | |
较大耐压 | 6bar | |
体积 | 约21cm3 | |
接触材质 | 不锈钢、镍铬合金、 陶瓷、钛 | |
法兰 | NW25/NW40/CF40 | CF40 |
兼容控制器 | PGC201 |
离子规
IG40 BA
测量范围从10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr)
焊接防护罩
IG40 EX
测量范围从10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr)
X射线和离子脱附效应的显著降低
特点
Bayard-Alpert和Extractor离子计中的可更换灯丝
高精度的测量由于单独校准的传感系统
技术规格
型号 | IG40BA | IG40EX |
测量范围 | 10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr) | 10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr) |
X射线极限 | ≤10-11Torr | ≤10-12Torr |
运行环境温度 | +20至+80℃ | |
较大烘烤法兰温度 带测量电缆 | 250℃ | |
较大烘烤温度 未连接 | 400℃ | |
接触材质 | 氧化钇铱涂层 Pt/Ir 90/10 Mo/ Pt绕丝 钨 | 氧化钇铱涂层 Mo和CoNiCr 钨 镍铁 |
操作特征 离子探测器电位 阴极电位 阳极电位 反射器电位 | 0 80 220 | 0 100 220 205 |
法兰 | CF40 | |
发射电流 | 0.1至10mA | 1.6mA |
热阴极的加热电流 | 1.5A | 1.5A |
热阴极的加热电压 | 3V | 3.7V |
灵敏度N2 | 17/mbar | 6.25/mbar |
烘烤操作,电子轰击(V/mA) | 480/90 | 480/45 |
兼容的控制器 | PGC202 |
PGC真空计控制器
PGC201皮拉尼规和潘宁规控制器
PGC202皮拉尼规和离子计控制器
Edwards PGC201控制器提供从10-9和1000mbar之间的压力范围测量,结合两个测量原理从PRG和CPG真空规。PGC202结合了PRG真空规和IG40 BA或IG40 EX离子计,用于测量10-12 mbar至1000 mbar范围内的真空度。两个控制器都需要连接的规管提供测量和控制功能。
特点
紧凑的3通道操作单元,用于连接Passive gauge测量真空范围
PGC201:10-9到1000mbar
PGC202:10-12至1000mbar
皮拉尼规管和潘宁规管(PGC201);皮拉尼和UHV、BA离子计(PGC202)自动切换
测量线缆支持50M
每通道两个设定点继电器
对数图表记录器输出0- 10v或2- 10v
宽范围电源供应100 - 240伏
压力单位可在mbar, Torr和Pascal之间选择
结构紧凑、坚固耐用的Penning (CPG)传感器,对高压操作不敏感
校准和温度补偿的Pirani (PRG)传感器
性价比高的传感器和灯丝更换组件
每个通道的错误信息反馈,例如在灯丝断裂、传感器线路故障或等离子放电故障的情况
紧凑的金属台式外壳
易于操作的界面
RS232接口
CE标志
RoHS认证
应用
高真空泵系统的通用真空测量: 涡轮分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵系统等。
退火、熔化、钎焊和硬化炉
涂层系统
分析仪器
热辐射和脱气环境
粒子加速器
技术规格
型号 | PGC201 | PGC202 |
测量通道 | 3 | |
测量范围 1、2通道 3通道 | 5 x 10-4至1000 mbar (3.5 x 10-4至750 Torr) | |
10-9到1000mbar | IG40BA:2 x 10-11 mbar IG40EX:2 x 10-12 mbar | |
准确性 PRG CPG IG40BA/IG40EX | ≤实测值的20% ≤实测值的±30% ≤实测值的±2% | |
较长线缆 | 50米 | |
显示 | 数字显示,7段LED, 4位尾数和2位指数 | |
气体类型 | 系数可调 | |
设定点继电器 | 每通道2个,间隔触发 | |
可调开关阀值 PRG CPG IG40BA IG40EX | 5 x 10-3 至 500mbar 1 x 10-8 至9.9 x 10-3mbar 1 x 10-8 至 5 x 10-3mbar 1 x 10-11mbar | |
继电器切换滞后 | 10%的触发值(默认值), 可自由调节PRG和CPG | 10%的触发值(默认值),可自由调节 PRG和IG40 BA或EX |
继电器触点额定负载 | a.c./d.c., max. 30 V/1 A | |
Chart recorder output (default) PRG | 0到10v, log。线性划分:3个数量级, 如果出现故障,请按10.5伏, 对数的:(1 x 10-3毫巴),1.67 V/ 数量级 | |
CPG | 对数的:(1 x 10-9毫巴),1.43 V/ 数量级 | |
IG40BA/EX | 对数的:(1 x 10-12毫巴),1.00 V/数量级 | |
远程接口 | RS232/RS485 | |
电源要求 | 100-240VAC | |
功率 | <10W | <60W |
存储温度 | -20至+60℃ | |
工作温度 | +5至+50℃ | |
较大湿度 | %80 | |
重量 | 1.4Kg | |
尺寸 | 106.4x128.4x174.5mm | 106.4x128.4x184.5mm |
深度 | 220mm | |
防护等级 | IP40 |