OPG550光学等离子体真空计
OPG550光学等离子体真空计
INFICON Augent™光学等离子体真空计是一种紧凑型智能真空监测解决方案。体积小巧的Augent™集两种传感器技术于一身。进行气体类型监测时，压力测量范围为1 × 10-7至5毫巴；总压力测量范围可达1 × 10-7毫巴至大气压。Augent™自带具有保护作用的皮拉尼传感器，当压力超出20巴时可以关闭等离子体。
在1 × 10-7至5毫巴的测量范围内，该仪表可用于检测氧气、氮气、氢气或氩气等气体。
特点
高速检漏，可进行试验箱泄漏检查
提高生产率和产量
使用寿命长，灯丝不易烧毁，防空气侵入
耐过程化学腐蚀
采用智能算法，易于集成
结构紧凑，空间占用小
启动快速可靠
应用范围
试验箱泄漏检查，提供更快的RoR (上升速率)试验速度
进行泄漏检查，以查找供气管路的内部泄漏
实时端点控制
气体类型和浓度控制
技术规格
| 型号 | OPG550 | ||||||
| 测量范围N2 | 毫巴(托) | 1 × 10-7 ... 5 (7.6 10-8 ... 3.8) | |||||
| 检测限制25升试验箱 | |||||||
| 压力上升方法中的O2泄漏 | 毫托/分钟 | ≥0.3 | |||||
| N2回填抽空期间的O2泄漏 | 毫托/分钟 | ≥1 | |||||
| N2总压读数精度 | |||||||
| 1 × 10-7 ... 100毫巴 | 读数% | 5 | |||||
| 压力 | |||||||
| 限于惰性气体<50°C | 巴(绝对) | ≤10 | |||||
| 温度 | |||||||
| 运行(环境) | ℃ | +5 ... +50 | |||||
| 存储 | ℃ | -20 ... +70 | |||||
| 在法兰处烘烤，带电子单元 | ℃ | ≤80 | |||||
| 在法兰处烘烤，不带电子单元 | ℃ | ≤120 | |||||
| 一年30天的相对湿度 | % | ≤95 (不凝结) | |||||
| 电源电压 | |||||||
| 真空计处 | 伏(直流) | +14.5 ... +30 | |||||
| 波纹电压 | V(p-p) | ≤1 | |||||
| 功耗 | W | ≤5 | |||||
| 待接保险丝 | AT | ≤1 | |||||
| 输出信号 | |||||||
| 模拟 | 伏(直流) | 0 ... +10 | |||||
| 数字 | RS232C | ||||||
| 电气连接 | D-Sub，9针，公头 | ||||||
| 高压(在测量室) | |||||||
| 点火电压 | 千伏 | ≤4.5 | |||||
| 运行电压 | 千伏 | ≤3.3 | |||||
| 暴露于真空的材料 | |||||||
| 一般 | AI2O3、不锈钢1.4435 | ||||||
| 阳极 | 钼 | ||||||
| 电离室 | 钛、不锈钢1.4016 | ||||||
| 点火辅助装置 | 不锈钢1.4310 | ||||||
| 真空法兰 | DN16 ISO-KF | ||||||
| DN25 ISO-KF | |||||||
| DN16 CF-R | |||||||
| 8VCR，母头 | |||||||
| 内部容积 | 立方厘米(立方英寸) | ≤20 (1.22) | |||||
| 重量 | 克 | ≤700 | |||||
| 尺寸 | |||||||
| 占用空间 | 毫米 | 68×68 | |||||
| 高度 | 毫米 | < 137 | |||||
| 防护等级 | IP40 | ||||||
| 标准 | CE | ||||||
订购资料
| 替换传感器 | OPG550 |
| DN 16 ISO-KF | 351-590 |
| DN 16 CF-R | 351-591 |
| DN 25 ISO-KF | 351-592 |
| 8VCR，母头 | 351-593 |