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冷阴极电离真空规

INFICON被动冷阴极测量仪MAG470,测量范围为5 × 10 -11mbar到1 × 10 -2mbar  

(3.8 × 10 -11 Torr to 7.5 × 10 -3 Torr).

优势

· 没有烧坏的灯丝

· 加长版,传感器输出温度可达250°C

· 优异的点火性能

· 易清洗

· 金属密封通道

· LED高电压指示灯

· 对数模拟输出信号

应用

· 超高真空压力监测

· 蒸发和溅射系统的基本压力

· 中高真空范围内的通用真空测量与控制

订货信息

类型

MAG470

MAG470扩展

DN 40 CF-F
399-360

399-361

备件
MAG470

MAG470扩展

维修工具包包括:

支撑/定心环
密封点
助燃剂
351-997

351-997
修理工具包括:
阳极
铜密封
螺纹接头
支撑/定心环
密封点
助燃剂
351-990
351-990
点火辅助套件包括:
助燃剂
351-995

351-995

点火辅助装置的安装工具
351-994

351-994

附件
MAG470

MAG470扩展

磁屏蔽
351-023
351-023

规格



 MAG470                                                                       MAG470扩展

测量范围(空气,氮气)
mbar (Torr)
5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)
精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar
%
≈±30%
重复性1×10 -9…1×10 -3mbar
%
≈±5%
安装方位

不限
容许压力
Bar(绝对)
≤10(限于惰性气体)
容许温度
操作(环境)
储存
输出

°C
°C
°C

+5 … +55
–40 … +65
2501)(扩展版 2)
电源电压
标准
最大供电量 3
电压频率

V (dc)
V (dc)
Vpp

+15…+30
+16…+30
≤1
耗电量
W
≤2
保险丝连接
AT
≤1
输出信号(测量信号)
电压范围
测量范围

V
V

0…+10.5
+1.96…+8.6
相对压力
误差

V
对数, 0.8 V/decade
<0.5 (无供应)
输出电阻
最小负载电阻
Ω

2 × 10
10、防短路
响应时间
p>10-6mbar
p=10-8mbar

MS
MS

<10
≈1000
识别量规

7.15,供参考使用
电气连接
传感器电缆
电缆长度


M
FCC 68电器连接器,8极,内螺纹
8极加屏蔽
≤50(8×0.14mm2)
工作电压
工作电流
kV
μA
≤3.3
≤100
暴露于真空中的材料

不锈钢,氧化铝,银,
内部容积
cm 3
≈20
重量
DN 40 CF-F

g

≈950≈1100
保护类别

IP 40
标准

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1)无电子和磁屏蔽

2)规定区域内250°C,见尺寸

3)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加

尺寸资料


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