冷阴极电离真空规
冷阴极电离真空规
INFICON被动冷阴极测量仪MAG470,测量范围为5 × 10 -11mbar到1 × 10 -2mbar
(3.8 × 10 -11 Torr to 7.5 × 10 -3 Torr).
优势
· 没有烧坏的灯丝
· 加长版,传感器输出温度可达250°C
· 优异的点火性能
· 易清洗
· 金属密封通道
· LED高电压指示灯
· 对数模拟输出信号
应用
· 超高真空压力监测
· 蒸发和溅射系统的基本压力
· 中高真空范围内的通用真空测量与控制
订货信息
类型 | MAG470 | MAG470扩展 |
---|---|---|
DN 40 CF-F | 399-360 | 399-361 |
备件 | MAG470 | MAG470扩展 |
---|---|---|
维修工具包包括: 支撑/定心环密封点 助燃剂 | 351-997 | 351-997 |
修理工具包括: 阳极 铜密封 螺纹接头 支撑/定心环 密封点 助燃剂 | 351-990 | 351-990 |
点火辅助套件包括: 助燃剂 | 351-995 | 351-995 |
点火辅助装置的安装工具 | 351-994 | 351-994 |
附件 | MAG470 | MAG470扩展 |
---|---|---|
磁屏蔽 | 351-023 | 351-023 |
规格
MAG470 MAG470扩展 | ||
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测量范围(空气,氮气) | mbar (Torr) | 5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3) |
精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±30% |
重复性1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±5% |
安装方位 | 不限 | |
容许压力 | Bar(绝对) | ≤10(限于惰性气体) |
容许温度 操作(环境) 储存 输出 | °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 2501)(扩展版 2) |
电源电压 标准 较大供电量 3 电压频率 | V (dc) V (dc) Vpp | +15…+30 +16…+30 ≤1 |
耗电量 | W | ≤2 |
保险丝连接 | AT | ≤1 |
输出信号(测量信号) 电压范围 测量范围 | V V | 0…+10.5 +1.96…+8.6 |
相对压力 误差 | V | 对数, 0.8 V/decade <0.5 (无供应) |
输出电阻 较小负载电阻 | Ω KΩ | 2 × 10 10、防短路 |
响应时间 p>10-6mbar p=10-8mbar | MS MS | <10 ≈1000 |
识别量规 | KΩ | 7.15,供参考使用 |
电气连接 传感器电缆 电缆长度 | M | FCC 68电器连接器,8极,内螺纹 8极加屏蔽 ≤50(8×0.14mm2) |
工作电压 工作电流 | kV μA | ≤3.3 ≤100 |
暴露于真空中的材料 | 不锈钢,氧化铝,银, | |
内部容积 | cm 3 | ≈20 |
重量 DN 40 CF-F | g | ≈950≈1100 |
保护类别 | IP 40 | |
标准 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
1)无电子和磁屏蔽
2)规定区域内250°C,见尺寸
3)电源单元的较小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加
尺寸资料