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分子泵组(真空排气台)

真空泵组是通过组合各种泵来实现真空环境的系统。

真空广泛用于先端科学技术到一般产业的领域。 根据用途所需的真空条件也是不同的。 考虑对环境的影响,可凝性气体、腐蚀性气体的处理是应该解决的重要问题。

特点

根据应用情况,选择分子泵或前级泵

紧凑型安装

移动式机台

选配真空计,实时压力监测

应用

研发试验

真空炉排气

一般抽真空应用

技术规格(常用)


型号

ST060FR060桌面式真空排气台

接口形式

吸气口

KF40

进气口

G 1/2”

排气速度

N2

60L/s

N2带保护滤网时

55L/s

极限真空度

5×10-6Pa以下

真空泵

复合分子泵

TG60FRAB /OsakaVacuum


轴承型式

陶瓷轴承、脂润滑


冷却方式

强制空冷


转速

69000rpm


启动时间

1.5~2min


停止时间

15~25min


压缩比N2

2×107


压缩比H2

3×103


最高容许背压

800Pa


轴承寿命

20000hour


分子泵控制器

TC75


辅助泵

VRD4


辅助泵形式

双级选片式真空泵


辅助泵排气速度

66L/min

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