分子泵组（真空排气台）
分子泵组（真空排气台）
真空泵组是通过组合各种泵来实现真空环境的系统。
真空广泛用于先端科学技术到一般产业的领域。 根据用途所需的真空条件也是不同的。 考虑对环境的影响，可凝性气体、腐蚀性气体的处理是应该解决的重要问题。
特点
根据应用情况，选择分子泵或前级泵
紧凑型安装
移动式机台
选配真空计，实时压力监测
应用
研发试验
真空炉排气
一般抽真空应用
技术规格（常用）
| 型号 | ST060FR060桌面式真空排气台 | |
接口形式 | 吸气口 | KF40 |
进气口 | G 1/2” | |
排气速度 | N2 | 60L/s |
N2带保护滤网时 | 55L/s | |
极限真空度 | 5×10-6Pa以下 | |
| 真空泵 | 复合分子泵 | TG60FRAB /OsakaVacuum |
轴承型式 | 陶瓷轴承、脂润滑 | |
冷却方式 | 强制空冷 | |
转速 | 69000rpm | |
启动时间 | 1.5～2min | |
停止时间 | 15～25min | |
压缩比N2 | 2×107 | |
压缩比H2 | 3×103 | |
容许背压 | 800Pa | |
轴承寿命 | 20000hour | |
分子泵控制器 | TC75 | |
辅助泵 | VRD4 | |
辅助泵形式 | 双级选片式真空泵 | |
辅助泵排气速度 | 66L/min | |