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涡旋真空泵

nXDS 35i

nXDS 46i

Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有创新的轴承护罩设计,可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。两款泵都有耐腐蚀性版本。

XDS46i 泵是在 XDS35i 基础上开发的产品,因此两者具备相同的功能和优势,但前者的峰值泵速可达 40m3/hr。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时,XDS46i 针对最大抽速进行了优化,因此非常适合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 应用。端部密封技术的最新改进减少了端部密封的磨损,从而延长了维修干预之间的时间间隔。变换器驱动控制着电机的特性,确保泵总是以优化速度运行,并使用户可以对泵进行远程控制。

气镇允许处理蒸汽,将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性,可确保泵总是以最优转速运转。

特点

真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长

无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用

简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间

变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

应用

清洁泵送应用

汽车

射束线和高能物理

超高速离心机

 LCMS 入口

ICPMS 入口

涂层

技术规格

型号

XDS35i

XDS46i

抽速m3/h

35 m3/h

40 m3/h

极限真空(总压力)

1 x 10-2 / 8 x 10-3mbar/Torr

最大水蒸汽进气口压力

35 mbar/23 Torr

40 mbar/30 Torr

水蒸汽泵送速率-GB I

70 g/h


水蒸汽泵送速率-GB II

240 g/h


最大允许出口压力

0.2bar

最大允许出口压力-GB

0.5Bar

电机功率KW

0.52

转速rpm

1750

重量

48 kg

噪音

57 dB(A)

入口法兰

NW40

出口法兰

NW25

震动rms

<4.5

泄漏率mbar.L/s

<1 x 10-6

工作温度℃

10-40

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