涡旋真空泵

Pfeiffer真空测量Pfeiffer真空测量
DuoLine Vacuum PumpDuoLine Vacuum Pump
Diaphragm PumpDiaphragm Pump
Hicube EcoHicube Eco
Pfeiffer真空测量Pfeiffer真空测量
DuoLine Vacuum PumpDuoLine Vacuum Pump
Diaphragm PumpDiaphragm Pump
Hicube EcoHicube Eco涡旋真空泵
nXDS 35i
nXDS 46i
Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有创新的轴承护罩设计,可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。两款泵都有耐腐蚀性版本。
XDS46i 泵是在 XDS35i 基础上开发的产品,因此两者具备相同的功能和优势,但前者的峰值泵速可达 40m3/hr。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时,XDS46i 针对更大的抽速进行了优化,因此非常适合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 应用。端部密封技术的更新改进减少了端部密封的磨损,从而延长了维修干预之间的时间间隔。变换器驱动控制着电机的特性,确保泵总是以优化速度运行,并使用户可以对泵进行远程控制。
气镇允许处理蒸汽,将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性,可确保泵总是以较高的转速运转。
特点
真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
应用
清洁泵送应用
汽车
射束线和高能物理
超高速离心机
LCMS 入口
ICPMS 入口
涂层

技术规格
型号 | XDS35i | XDS46i |
抽速m3/h | 35 m3/h | 40 m3/h |
极限真空(总压力) | 1 x 10-2 / 8 x 10-3mbar/Torr | |
较大水蒸汽进气口压力 | 35 mbar/23 Torr | 40 mbar/30 Torr |
水蒸汽泵送速率-GB I | 70 g/h | |
水蒸汽泵送速率-GB II | 240 g/h | |
较大允许出口压力 | 0.2bar | |
较大允许出口压力-GB | 0.5Bar | |
电机功率KW | 0.52 | |
转速rpm | 1750 | |
重量 | 48 kg | |
噪音 | 57 dB(A) | |
入口法兰 | NW40 | |
出口法兰 | NW25 | |
震动rms | <4.5 | |
泄漏率mbar.L/s | <1 x 10-6 | |
工作温度℃ | 10-40 | |

