电容膜片真空计
带EtherCAT的Edge CDG025D2
电容膜片真空计
带EtherCAT的Edge CDG025D2
INFICON带EtherCAT的温度补偿型Edge CDG025D2电容膜片真空计是专为恶劣制造环境设计的高精度真空测量仪器。
成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供量程稳定性，而且具有零位稳定性。Edge随附INFICON传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有EtherCAT现场总线接口。
特点
易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
防腐陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
应用
用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备
数据存储及显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
技术规格（基于Torr的标准产品）
| 测量范围 | 托 | 1000 | 500 ... 10 | 1 | 0.25 | 0.1 |
| FS (满刻度) | 帕 | 133,322 | 66,661 ... | 1333 | 33.3 | 13 |
| 毫巴 | 1333 | 1,333 | 1.3 | 0.33 | 0.13 | |
| 66.7 ... 13.3 | ||||||
| 精度1) | 读数% | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度效应 | ||||||
| 零点 | %FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 满量程 | 读数% / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 较大压力 | 千帕(绝对) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 | ||||
| 较低读数 | % FS | 0.01 | ||||
| 建议的较低读数 | % FS | 0.05 | ||||
| 建议的较低控制压力 | % FS | 0.5 | ||||
| 温度 | ||||||
| 传感器 | ℃ | 25 | ||||
| 运行(环境) | ℃ | +5 ... +50 | ||||
| 在法兰处烘烤 | ℃ | ≤110 | ||||
| 存储 | ℃ | –20 ... +65 | ||||
| 电源电压 | +14 ... +30伏(直流)或±15伏(±5%) | |||||
| 功耗 | ||||||
| 运行温度 | W | < 3瓦 | ||||
| 输出信号(模拟) | 伏(直流) | 0 ... +10 | ||||
| 响应时间2) | 毫秒 | 30 | 130 | 130/303) | ||
| 防护等级 | IP 40 | |||||
| 标准 | ||||||
| CE符合性 | EN 61000-6-2/-6-3、EN 61010和RoHS | |||||
| ETL认证 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | |||||
| SEMI合规性 | SEMI S2 | |||||
| 电气连接 | D-sub，15极，公头 | |||||
| 设定值 | ||||||
| 设定点数量 | 2 (SP1、SP2) | |||||
| 继电器触点 | 伏(直流)/安(直流) | ≤30 / ≤0.5 | ||||
| 滞后 | % F.S. | 1 | ||||
| 诊断端口 | ||||||
| 协议 | RS232-C | |||||
| 读 | 压力、状态、ID | |||||
| 设置 | 设定点、过滤器、调零、出厂设置复位、直流偏置 | |||||
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷(AI2O3)、不锈钢(AISI 316L4)) | |||||
| 内部容积 | ||||||
| 1/2英寸管 | 立方厘米(立方英寸) | 4.2 (0.26) | ||||
| DN 16 ISO-KF | 立方厘米(立 4.2 (0.26) 方英寸) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) | |||||
| DN 16 CF-R | ||||||
| 8 VCR® | ||||||
立方厘米(立
方英寸)
立方厘米(立
方英寸)
| 重量 | ||
| 1/2英寸管 | 克 | 837 |
| DN 16 ISO-KF | 克 | 852 |
| DN 16 CF-R | 克 | 875 |
| 8 VCR® | 克 | 897 |
1）在25°C环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性，运行两小时后无温度效应
2）增加10 ... 90% FS
3）仅适用于压力控制类型
4）18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
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