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电容膜片真空计

带EtherCAT的Edge  CDG025D2

INFICON带EtherCAT的温度补偿型Edge CDG025D2电容膜片真空计是专为恶劣制造环境设计的高精度真空测量仪器。

成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge随附INFICON已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还配有EtherCAT现场总线接口。

特点

易于集成,EtherCAT,各种满刻度和法兰,标配两个设定点

轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

诊断端口用于快速维修和维护

防腐陶瓷传感器

卓越的长期信号稳定性

温度补偿

传感器防污染保护

合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用

用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备

数据存储及显示制造设备

工业真空设备

常规高精度压力测量

技术规格(基于Torr的标准产品)












测量范围

1000
500 ... 10
1
0.25
0.1
FS (满刻度)

133,322
66,661 ...
1333
33.3
13

毫巴
1333
1,333
1.3
0.33
0.13



66.7 ... 13.3



精度1)
读数%
0.2
0.2
0.2
0.25
0.5
温度效应
零点
%FS/°C
0.005
0.005
0.015
0.02
0.02
满量程
读数% / °C
0.01
0.01
0.01
0.03
0.03
最大压力
千帕(绝对)
400
260
260
130
130
分辨率
% FS


0.003



最低读数
% FS


0.01



建议的最低读数
% FS


0.05



建议的最低控制压力
% FS


0.5




温度
传感器



25



运行(环境)



+5 ... +50



在法兰处烘烤



≤110



存储



–20 ... +65



电源电压
                                                             +14 ... +30伏(直流)或±15伏(±5%)
功耗
运行温度
W


< 3瓦



输出信号(模拟)
伏(直流)


0 ... +10



响应时间2)
毫秒

30

130
130/303)
防护等级



IP 40



标准
CE符合性
                                                       EN 61000-6-2/-6-3、EN 61010和RoHS
ETL认证
                                                           UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1
SEMI合规性
                                                                             SEMI S2
电气连接
                                                                     D-sub,15极,公头
设定值

设定点数量
                                                                      2 (SP1、SP2)
继电器触点
伏(直流)/安(直流)
                                                         ≤30 / ≤0.5
滞后

% F.S.
                                                                 1
诊断端口
协议
                                                                               RS232-C

                                                                           压力、状态、ID
设置
                                        设定点、过滤器、调零、出厂设置复位、直流偏置
暴露于真空的材料
                                                氧化铝陶瓷(AI2O3)、不锈钢(AISI 316L4))
内部容积
1/2英寸管
立方厘米(立方英寸)


4.2 (0.26)



DN 16 ISO-KF
立方厘米(立                                                         4.2 (0.26)
                                                                           
方英寸)                                                               4.2 (0.26)

             4.2 (0.26)

DN 16 CF-R
8 VCR®

                        立方厘米(立

                           方英寸)

                       立方厘米(立

                       方英寸)

重量
1/2英寸管

837

DN 16 ISO-KF

852

DN 16 CF-R

875

8 VCR®

897

1)在25°C环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性,运行两小时后无温度效应

2)增加10 ... 90% FS

3)仅适用于压力控制类型

4)18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

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尺寸


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