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干式真空泵

Osaka干式螺杆真空泵,完全无油运作,适用于大多数洁净制程;体积小以及操作简单。

特点

排气速度:50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品

极限压力:DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa

洁净排气:没有油蒸气,粒子的逆流

无润滑油:无同步齿轮,也不需要润滑油

携带方便:小型,轻量,抗外部干扰

空冷规格

初期排气时间短,大气压附近排气速度快

低消费电力設計

应用

SEM,光刻

医疗设备

装载室,搬送室排气

分析仪器

加速器,离子源,电子枪的排气

一般产业

PVD或R&D

技术规格

型号DSP50DSP250DSP500
排气速度(L/min)最大50230500
气镇开启36200430
极限压力(Pa)通常200.5
气镇开启时2002
法兰连接进气口KF16KF25KF40
排气口RC1KF25
电源电压(V)100-240100-230
频率(Hz)50/60
相数单相
容许电压精度±10%
功率(W)极限压力时230240270
最大380600
冷却方式空冷
重量(Kg)91520
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