干式真空泵
干式真空泵
Osaka干式螺杆真空泵,完全无油运作,适用于大多数洁净制程;体积小以及操作简单。
特点
排气速度:50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品
极限压力:DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa
洁净排气:没有油蒸气,粒子的逆流
无润滑油:无同步齿轮,也不需要润滑油
携带方便:小型,轻量,抗外部干扰
空冷规格
初期排气时间短,大气压附近排气速度快
低消费电力設計
应用
SEM,光刻
医疗设备
装载室,搬送室排气
分析仪器
加速器,离子源,电子枪的排气
一般产业
PVD或R&D
技术规格
型号 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
排气速度(L/min) | 大 | 50 | 230 | 500 |
气镇开启 | 36 | 200 | 430 | |
极限压力(Pa) | 通常 | 20 | 0.5 | |
气镇开启时 | 200 | 2 | ||
法兰连接 | 进气口 | KF16 | KF25 | KF40 |
排气口 | RC1 | KF25 | ||
电源 | 电压(V) | 100-240 | 100-230 | |
频率(Hz) | 50/60 | |||
相数 | 单相 | |||
容许电压精度 | ±10% | |||
功率(W) | 极限压力时 | 230 | 240 | 270 |
大 | 380 | 600 | ||
冷却方式 | 空冷 | |||
重量(Kg) | 9 | 15 | 20 |