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CDG100D2加热式电容膜片真空计

INFICON Edge电容膜片真空计是专为恶劣制造环境设计的高精度真空测量仪器。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge随附INFICON已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还有EtherCAT现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温,并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge是同类产品中最小的真空测量仪器。

特点

紧凑型,节省宝贵的工具空间

易于集成,EtherCAT,各种满刻度和法兰,标配两个设定点

轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

诊断端口用于快速维修和维护

两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准

合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用

CVD、蚀刻、PVD及其他半导体生产过程

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