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残余气体分析仪

XT系列

Extorr是一家专业研究及生产残余气体分析仪(RGA)的公司,拥有XT系列残余气体分析仪,原理是四极质谱仪,RGA内置电阻规和离子计。是一种重要的测量设备,可用于任何真空系统。Extorr XT残留气体分析仪(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu质量数范围。RGA配置一个标准的CF2.75英寸法兰。每个功能都具有自动启动和关闭,并将不断监测从大气压至超高真空。内置的皮拉尼压力计和离子压力计不断监测总压力,并调节和保护RGA。这些功能被无缝地集成到Extorr VacuumPlus软件包中。

特点

内置皮拉尼压力计和离子压力计的残余气体分析仪
1-100、1-200和1-300 amu质量数范围可选
标准法拉第探测器(FC)与可选的电子倍增器(EM)
实时Windows软件能够进行多台RGA同时操作
现场可更换两根敷钍的铱丝
优于1 amu分辨率
8个数量级的动态范围在一次扫描
质谱,泄漏检测和压力随时间的变化
内建诊断,容易升级的软件和固件
完全可插入的探头

应用

泄漏测试

等离子体特性

基准压力监测

表面科学

真空工艺监控

真空技术教育

真空炉监控

材料制造

电子显微镜

材料分析

RGA技术规格

质量数范围
XT100
1-100 amu 法拉第杯 (FC)
XT200
1-200 amu 法拉第杯 (FC)
XT300
1-300 amu 法拉第杯 (FC)
XT100M
1-100 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM)
XT200M
1-200 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM)
XT300M
1-300 amu 法拉第杯 (FC)和电子倍增器 (EM)
类型
四极质谱仪
探测器类型
标准:法拉第杯 (FC)
可选:电子倍增器 (EM)
分辨率
大于0.5 amu@10%峰值高度。可在整个质量范围内调节至恒定的峰值宽度。
灵敏度(A/Torr)
5×10-4Torr(FC)。用户可在整个高压范围内调节。用N2@28 amu测量,全峰宽1 amu,高度10%,电子能70 ev,离子能6 ev,电子发射电流2 mA。
最小可检测分压
5 × 10–11 Torr (FC)
 5 × 10–14 Torr (EM)
工作范围
RGA:≤10–4 Torr
皮拉尼计:10–3 Torr至大气压
离子计:≤10-2Torr
工作温度
电路部分:50℃
探头:100℃
烘烤温度
300℃(仅探头,移除电路部分)
总压强测量
皮拉尼计:10-3 Torr 至大气压,
离子计:2 x 10-10 Torr至10-2 Torr
离子源
设计
开放离子源,电子撞击电离
材质
SS304、Kovar、钨、氧化铝、铱、铜、镍、氧化钍、白金
灯丝
双钍涂层铱灯丝,带固件保护。内置1到30W的电子脱气装置(可现场可更换)
电子能量
11至150V,可编程的
离子能量
1至12V,可编程的
聚焦电压
0至150V,可编程的
发射电流
0.1至4 mA,可编程的
其他参数
探头长度
172.72mm,从法兰到顶端
法兰
CF40(2.75”)
探头最小管内径
35mm
电路部分体积
84 x 122 x 188mm, 可拆卸
预热时间
30分钟质量稳定性±0.1 amu
计算机接口
RS-232C, 至高115,200波特率,或USB.
最低PC要求
PC运行Windows 2000, XP, 7,8或10系统,1024 x 768VGA图形显示器,键盘,鼠标,光盘驱动器,和一个未使用的USB或RS-232C端口。
软件
随机附带VacuumPlus窗口软件,基于应用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系统
电源
24 VDC @ 2.5 Amps,120/240 VAC电源适配器.
重量
2.27Kg(探头及电路部分)
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