数字式质量流量控制器-金属密封
数字式质量流量控制器-金属密封
VIC-W200系列金属密封型数字式质量流量控制器（MFC），产品同时支持传统模拟量和RS485数字信号，气体通路及密封件采用金属密封及聚四氟乙烯材质，适用于所有毒性气体、腐蚀性气体、易爆性气体或高压环境。
特点
全测量区间内响应速度≤1秒
金属密封及PTFE，对有毒及腐蚀性气体，易爆性气体耐久性强
同时支持RS485和模拟量信号
适用浪涌和过电压的内部电路设计
维持准确度，温度变化不敏感
进出口可熔接，完全防止产品漏气
技术规格
| 型号 | VIC-W210 | VIC-W220 |
| 流量范围(N2 换算基准 ) | 5sccm至1.5slm | 1.5slm至50slm |
| 控制流量范围 | 2 ~ 100%满量程 | |
| 准确度 | ≤±1%满量程 | |
| 响应时间 | ≤1秒（10~100%满量程） | |
| 线性度 | ≤±0.2%满量程 | |
| 再现性 | ≤±0.2%满量程 | |
| 阀门类型 | 常闭阀 | |
| 密封类型 | 金属密封+FEP封装O型圈 | |
| 通讯方式 | 模拟：0-5VDC或4-20mA 总线：DeviceNet | |
| 电气接头 | 9针D-Sub公头 | |
| 电源 | +15VDC至+24VDC | |
| 温度 | 操作温度：5-50℃（推荐15~35℃） | |
| 预热时间 | 15分钟（准确度保证：30分钟） | |
| 法兰连接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR（根据型号） | |
产品尺寸
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