真空设备如何选用真空泵
真空设备如何选用真空泵
真空设备产品可分为五大类：
（1）真空获得设备：产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。
A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。
B、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。
C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。
D、真空机组：即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
（2）真空应用设备：在真空环境下（低于一个大气压的气体状态），应用的各种设备
A、真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
B、真空冶炼炉：电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。
C、真空热处理炉：淬火炉、回火炉、退火炉、渗氮炉和渗金属炉等。
D、其它真空设备：冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保险设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
（3）真空测量仪器：测量低于一个大气压的气体和蒸汽压力的仪器。
A、低真空计（测量范围105--102Pa）
B、中真空计（测量范围l02一l0-1Pa）
C、高真空计（测量范围l0-1一10-5Pa）
D、超高真空计（测量范围< 10-5Pa）
（4）真空检漏仪：检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。
（5）真空阀门：在真空系统中，用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、电磁阀、电磁带放气阀、隔膜阀和调节阀等。
为能够更好的选择并使用真空泵，需要注意以下几点：
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持，应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。
2、了解被抽气体成分，气体中有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分，针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸汽、颗粒以及腐蚀性的气体，需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。
3、真空泵在其工作压强下，可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。
4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速，但是不能进行抽氦，而三极型溅射离子泵，对氩有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应多的真空度。
5、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。
6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适，而不能让它坐在25~30mmHg下长期的工作。
7、真空泵排出的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选择无油性真空泵，或者把油蒸汽排出室外。
8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强的要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
9、还需考虑真空泵的价格、运转及维修费用，结合实际情况选择性价比高的真空泵。
来源：PVD镀膜