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347 Stabil-Ion

Granville-Phillips 347模块真空计是不需要前面板显示和控制应用的理想解决方案。这些紧凑,方便,可靠、节约成本的是将控制电子器件直接安装在规管上实现的。全金属包覆提供了坚固的外壳和高水平的抗电气噪音能力。

 

Stabil-Ion模块有模拟量型和DeviceNet型可选。DeviceNet型会有两个设定点继电器。这些继电器可以用于工艺控制或安全互锁。DeviceNet型也可以提供显示选项,可以本地指示真空系统压力的读值。Stabil-lon模块是包括Mini-Convectron模块、Micro-Ion模块和Micro-lon Plus在内的Granville-Phillips模块产品线的一部分。

特点

优越的Stabil-lon规管性能集中于紧凑的模块中

从10-11 Torr开始精准测量真空压力(10-11mbar,10-9 Pa)

双规丝增加设备的正常运行时间

模拟量和DeviceNet接口

模块化设计允许快速简便的进行规管更换

DeviceNet型获CE认证

Stabil-Ion规管技术

稳定、精准、可靠的Stabil-lon规管是多年测试和设计的成果。Stabil-lon规管是仅有的不必随时间推移而改变校准值的高真空工艺控制规管。它拥有一系列获专利的增强特性包括张紧的灯丝、精密绕制消除应力的栅极、以及静电屏蔽。这些在电离规中的增强成果使得它在精准度、重复性以及规管与规管间的再现性等特性上都优于其他设计。Stabil-lon规管的高测量性能和稳固的设计使其成为重要真空工艺的规管选择。


Stabil-lon模块的特性和优势

坚固的不锈钢外壳:防止栅极和灯丝损坏安装期间,消除了玻璃破碎险。

拉紧的灯丝:保持精确定位从而保持校准特性。

静电屏蔽:完整环绕电极结构-提供稳定的,增强精度的电气环境。

精密绕制,消除应力的阳极:即使在高温除气之后仍保持其初始形状,从而减少测量误差。

真空烧制组件:规管的设计、结构及制造工艺都尽可能选取放气最小化的方案。规管制造过程中从不与裸手接触。

量程选择量程及双灯丝:可提供扩展的范围或超高真空规管,有耐烧断的镀氧化钇涂层的铱丝和耐腐蚀的钨灯丝选择。利用第二根灯丝做备份直到正常的维护周期再更换规管可以避免意外停机。

宽量程:从1×10 -9 2×10-2Torr 的连续真空系统特性监控。

简化的模块设计:电子器件和传感器合井在一个紧凑地,便于安装的模块中。不需要特殊工具就可以快速简便地更换规管。

两种输出形式:模块可提供不带设定点的模拟量输出型或是带两个设定点的DeviceNet通讯型。

弹性的DeviceNet网络电源:规管电源通过DeviceNet微型接口提供或通过单独的接口提供均可。

工艺设定点:带有工艺设定点的产品中,触点继电器可用来控制其他真空器件或实现安全互锁。设定点会存于非易失性存储器中。

DeviceNet型的本地显示:DeviceNet型产品可以选择简单易读的LED显示器,用来指示测量点的压力。显示方向可以根据安装位置灵活翻转。

技术规格

空气与N2的测量范围
(见注释1、2)
超高真空规管

Torr

2X10-11至2X10-2

mbar

3X10-11至3X10-2

Pa

3X10-9至3
扩展量程规管

Torr

2X10-10至2X10-2

mbar

3X10-10至3X10-2

Pa

3X10-8至3
测量N2精度(见注释4)
±25%读数,从1X10-8至1X10-4Torr
重复性(见注释5)
±3%读数,从1X10-8至1X10-4Torr
发射电流
0.1mA和4mA
X射线极限(见注释3)

超高真空规管

2X10-11Torr, 3X10-11mbar, 3X10-9Pa

延伸范围规管

2X10-10Torr, 3X10-10mbar, 3X10-8Pa
除气
电子轰击,200W 2分钟累时器控制

灯丝材质

铱丝镀氧化钇或钨丝
工作温度
0-40℃,不结露

非工作温度

-40-70℃

规管烘烤温度

最高450℃,移除电子器件

供电要求

24VDC ±15%,最大75W; 3.75A 20VDC

外壳材料

铸铝
CE认证(仅DeviceNet型)

EMC电磁兼容指令
891336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2,EN 61326
低压指令
73123/EEC;EN 61010

毛重

800 gm (1lbs, 12. 5 oz)

显示选项(见注释6)

3位数显加指数显示,绿色LED,Torr,mbar或Pa

设定点触点(见注释7)

单刀双掷(SPDT)

触点负载

1A 30VDC阻抗,无感

DeviceNet型

两个继电器
其它接触气体材料
适用于真空条件,超高真空兼容

内部容积

73 cm 3(4.45 inch 3)至筛网口的容积

1.测量结果会随不同气体和混合情况而改变。操作说明书里提供了常用气体的修正参数。

2.Stabil-lon模块不能用于易燃易爆气体测量。

3.X射线极限是规管的最小绝压读值。在X射线极限附近不可能进行重复测量。

4.精度(规管读数和校验参考标准之间的差异)是通过数据统计确定的并且包括了规管和电子器件的综合性能。

5.重复性是指同一模块在不同时间读取相同压力值的能力。

6.显示功能仅DeviceNet型模块可选。

7.Device Net型模块带两个继电器设定点,模拟量输出型模块无设定点继电器。

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