环境电容膜片真空计
CDG025D-X3 4-20毫安电流环
环境电容膜片真空计
CDG025D-X3 4-20毫安电流环
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型压力计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。
数字电子设备提高了真空计的性能并具有易于操作的特点，如一键调零功能和设定点调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有零点稳定性和预计数百万次压强周期(包括大气冲击)的长使用寿命。传感器屏蔽保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了EMC兼容性、长期稳定性和温度补偿。CDG025D为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。
优势
• 全刻度范围，100毫托 ... 1000托
• 电源接通后的快速稳定性
• 暴露大气压后的快速恢复性
• 防腐陶瓷传感器
• 卓越的长期信号稳定性
• 温度补偿
• 传感器防污染双重保护
• 一键调零功能
• 二线制电流环接口
• 长电缆距离(<300米)
• 低功耗真空计
• 含远程调零功能
• 符合洁净室要求
• 状态LED
应用范围
• 用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备
• 数据存储及显示制造设备
• 工业真空设备
• 常规高精度压力测量
订购资料
粗体 = 标准产品
其他法兰类型可按要求提供。
规格(以托为单位的标准产品)
| 测量范围 | 托 | 1000 | 500...10 | 1 | 0.25 | 0.1 |
| FS (满刻度) | 帕 | 133,322 | 66,661...1,333 | 133 | 33.3 | 13 |
| 毫巴 | 1333 | 66.7...13.3 | 1.3 | 0.33 | 0.13 | |
| 精度1) | 读数% | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度效应 | ||||||
| 零点 | %FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 满量程 | 读数% / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 较大压力 | 千帕(绝对) | 300 | 200 | 200 | 200 | 130 |
| 响应时间2) | 毫秒 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
| 较低读数 | % FS | 0.01 | |
| 建议的较低读数 | % FS | 0.05 | |
| 建议的较低控制压力 | % FS | 0.5 | |
| 温度 | |||
| 运行(环境) | ℃ | +5 ... +60 | |
| 在法兰处烘烤3) | ℃ | ≤110 | |
| 存储 | ℃ | –20 ... +65 | |
| 电源电压 | 伏(直流) | +21 ... +27 | |
| 输出信号(模拟) | 二线制，电流环 | ||
| 电流与压力的关系 | 线性 | ||
| 信号范围 | mA | 3.8 ... 20.2 | |
| 测量范围(零 ... FS) | mA | 4.0 ... 20.0 | |
| 加载阻抗RL | |||
| Ω | 通常500Ω±1%，24±3伏(直流)4) | ||
| 绝对 | 309 ... 657Ω，24伏(直流)4) | ||
| 远程调零输入 | 数字输入，浮动触点 | ||
| 高电平(脉冲 > 1秒) | +21 ... +27伏(直流) / ≤8毫安 | ||
| 低电平 | ≤2 | ||
| 远程调零功能 | |||
| 高电平(脉冲 > 1秒) | 自动调零 | ||
| 低电平 | 测量操作 | ||
| 防护等级 | IP 30 | ||
| 标准 | |||
| CE符合性 | EN 61000-6-3、EN 61010、61326-1和RoHS | ||
| ETL认证 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | ||
| 电气连接 | D-Sub，9针，公头 | ||
| 传感器电缆 | |||
| 不带远程调零功能 | 二线制电缆加屏蔽，绞线 | ||
| 带远程调零功能 | 四线制电缆加屏蔽，绞线 | ||
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷(AI2O3)、不锈钢(AISI 316L5)) | ||
| 内部容积 | |||
| 1/2英寸管 | 立方厘米(立方英寸) | 3.6 (0.22) | |
| DN 16 ISO-KF | 立方厘米(立方英寸) | 3.6 (0.22) | |
| DN 16 CF-R | 立方厘米(立方英寸) | 3.6 (0.22) | |
| 8 VCR® | 立方厘米(立方英寸) | 3.6 (0.22) | |
| 重量 | ||
| 1/2英寸管 | 克 | 310 |
| DN 16 ISO-KF | 克 | 330 |
| DN 16 CF-R | 克 | 350 |
| 8 VCR® | 克 | 370 |
1）在25°C环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性，运行两小时后无温度效应
2）增加10 ... 90% FS
3）非工作
4）真空计电源电压
18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe