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涡轮分子泵

Osaka涡轮分子泵使用了脂润滑陶瓷轴承,实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动,耐冲击能力强,可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部,拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ~ 2400L/s的产品。

特点

无油的超真空环境

机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

可排稀有气体和腐蚀性气体

可连续排大流量气体

可工作的压力范围宽。(~10-10Pa)

应用

半导体制造

电子枪排气,离子源排气

FPD制造

表面处理,表面改质

各种电子部件的制造

分析,试验装置

管球制造,光学部件制造

加速器,放射线设施,核聚变研究

热处理

研究开发

技术规格

型号

TG50F

TG60F

TG70F

TG220F

TG240F

TG350F

TG450F

TG800F

TG1100F

TG1400F

TG2400

法兰

吸气口ISO-R/CF

63

KF40/63

63

100

100

100

160

160

200

200

250

排气口

KF16

KF16

KF16

KF25

KF25

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

KF40

排气速度

N2(附加金属过滤网)

49L/s

55L/s

65L/s

210L/s

240L/s

310L/s

430L/s

750L/s

1000L/s

1300L/s

2300L/s

H2

12L/s

22L/s

40L/s

100L/s

160L/s

210L/s

240L/s

650L/s

720L/s

750L/s

1100L/s

最大压缩比

N2

1.4×107

2×107

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

H2

5×102

2×103

1×105

4×102

4×104

2×103

2×103

1×104

1×104

4.3×103

1.4×103

极限压力

ISO-R/CF

<3×10-6Pa

<5×10-6Pa/<1×10-6Pa

<5×10-7Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa/<5×10-7Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

最大气体流量

N2(sccm)

80

20

20

400

70

500

500

330/860

330/860

450

900/1500

推荐辅助泵

≥50L/min

≥25L/min

≥25L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥500L/min

容许辅助压力

1330Pa

800Pa

1200Pa

260Pa

700Pa

260Pa

260Pa

330Pa

330Pa

330Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

4.2/6

3.4/5.4

3/5

5.5/8

7.3/10.5

6/9

7/10

27/26

28/27

29/30

45/47

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