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皮拉尼B-A型复合真空计

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计,BPG400,BPG402-S将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中(BCG450是B-A,皮拉尼,电容薄膜三证功能复合在一起),测量范围为 5×10-10mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。

特点

从 5 x 10E-10mbar至大气压(3.8 x 10E-10Torr至大气压)的极其宽广的测量范围

10E-8至10-2 mbar压力范围内,±5%卓越的重复性

BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分

皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空/皮拉尼自动调节

符合 RoHS 标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

型号
灯丝
BPG400
单-涂铱氧化钇灯丝
BPG402-S
双-涂铱氧化钇灯丝
BCG450
涂铱氧化钇灯丝/电容薄膜
测量范围
5 × 10E-10至1000 mabr
5 × 10E-10至1500 mabr
精度(N2)
10E-8至10-2mbar(BPG400/BPG402-S)
10E-8至50mbar(仅BCG450)
50至950 mbar(仅BCG450)
950至1050 mbar(仅BCG450)
±15%读数
±15%读数
±5%读数
±2%读数
重复性
10E-8至10-2mbar
±5%读数
除气
P<7.2 × 10E-6mbar
电子轰击,至多3分钟
输出信号
电压范围:0至+10V模拟;可选RS485,Profibus-DP,DevicenNet
电源电压
直流/安培
+20至+28Vdc
0.8A
电气连接件
D-sub 15针;Profibus-DP/RS485(D-sub 9针+15针);DeviceNet标准接头
工作温度
+0至+50℃
烘烤温度(未工作)
法兰处
延伸件
移除电子部分

80℃
150℃
150℃
防护等级IP30

*总线和数字通讯参数请咨询

订购资料

BPG400

型号
BPG400
无LCD显示模块
BPG400
带LCD显示模块
BPG400-SP
带Profibus-DP
BPG400-SD
带DeviceNet
BPG400-SR
带RS485
DN 25 ISO-KF353-500353-501353-505353-507353-509
DN 40 CF-R353-502353-503353-506353-508353-513
更换用传感器KF25354-490
更换用传感器CF40354-491

BPG402-S

型号
BPG402-S
无LCD显示模块
BPG402-S
带LCD显示模块
BPG402-SL
长管型、无显示
BPG402-SP
带Profibus-DP
BPG402-SD
带DeviceNet
DN 25 ISO-KF353-570353-572-353-574353-576
DN 40 CF-R353-571353-573353-578353-575353-577
更换用传感器KF25354-494-354-494
更换用传感器CF40354-495354-496
354-495

BCG450

型号
BCG450
无LCD显示模块
BCG450
带LCD显示模块
BCG450-SP
带Profibus-DP
BCG450-SD
带DeviceNet
BCG450-SR
带RS485
DN 25 ISO-KF353-550353-552353-554353-557353-559
DN 40 CF-R353-551353-553353-556353-558353-560
更换用传感器KF25354-492
更换用传感器CF40354-493
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