图1，典型的高真空残留气体

       水蒸汽通常是未烘烤的高真空室内的极限残留。大多数H2O分子由一个普通的氧同位素16O原子(8个中子和8个质子)与2个氢原子(每个氢原子1个质子)组成，因此其质量为18 amu(或18 Da)。当离子在RGA离子发生器中与母体H2O+一起生成时，部分分子碎片形成HO+、H+、O+等，并分别添加到各自的amu峰上。参考图1中的注释，1amu处的峰值来自H2O和H2。这些波峰可以定性地反馈真空腔室的成分，并且会说明，而且定量分析也很重要。

       残余气体分析仪和质谱仪不能测量分压。他们在探测器上测量每个原子质量数的离子流。RGA利用电子轰击来电离离子源电离室中的分子。每个分子都有其独特的电离概率(电离截面)。RGA对每种气体都有不同的灵敏度。例如，RGA在检测器上测量质量为28的电流，它可能是氮，一氧化碳或其他分子，质谱仪不能知道这一点。在不知道气体种类的情况下将离子电流转换为分压是不正确的，但由于大多数气体的灵敏度都在氮气的2倍以内，所以习惯上对所有质量数使用氮气校准，并以这种方式报告分压和总压，以获得近似的分压。

       了解如何使用残余气体分析仪重要的概念是气体离子/分子的平均自由程。RGA用在真空室中，其中压力足够低，使得离子在被过滤和检测之前不太可能与其它气体分子碰撞。压力低于1 x 10 - 6托,当平均自由路径变得越来越小,一些离子在到达探测器之前，将与气体分子碰撞，导致峰值高度降低。一些化学反应也可能发生，使分析更加复杂。