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Residual Gas Analyzer介绍

       残余气体分析仪(RGA)是一种质谱仪,可帮助确定残留在不完全真空室中的物质的组成。一个典型的现代残余气体分析仪用灯丝中的电子电离真空室中的一些气体。然后,离子被导入一个四极质量过滤器,该过滤器使用电场只通过特定质量的离子。最后,离子的流动电荷被检测为电流。通过改变质量滤波器中的电场并记录到检测器的合成电流,得到了一个质谱。由离子发生器、四极质量过滤器、探测器和电真空馈通组成的传感器探头安装在真空室中。电子封装与电源线的大气侧和计算机相连。例如,一个RGA安装在真空室上,并在2.2x10 -8 Torr产生以下频谱。