半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
随着半导体工艺的精细化为了克服 Capacitor的体积变小，相应地减少容量高介电常数的High-K物质用于薄膜.用于半导体进程的'液体材料'的为了使绝缘膜更薄、更均匀地沉积，必须准确控制液体与灯泡体的流量.MKP的ARI7000系列是一个精确质量流量的液体和前体系统提供给大家在半导体最佳工艺中最佳性能保障.
特点
液体 & 前体用 MFC
快速响应时间: <3Sec
高精度: ≤1% of F.S
高重复性: ≤±1% of F.S
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
通讯: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | ARI 7000 | ||||
| 流量范围(g/min , IPA 等效) | 0.5 to 1g/min | ||||
| 流量控制范围 | 5~100% of F.S. | ||||
| 精确度 | ≤±1% of F.S. | ||||
| 响应时间 | ≤3秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±1%满量程 | ||||
| 温度系数 | ±0.2%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L & Electro-Polished(<0.1um RA), PTFE | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 5 to 55 ℃ (Recommended : 25~50˚C) | ||||
| 最大入口压力 | 500 kPa(G) | ||||
| 工作压差 | ≥200 kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | +14~30VDC, 3.5W max | ||||
质量流量控制器订购参数确认单