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倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空计

MPG55x / MAG55x

INFICON 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用的动力源泉。 MPG50x将两项传感器技术整合在一个小装置中,测量范围从大气压至1 × 10-9毫巴;而 MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统(不含皮拉尼元件),测量范围从1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,使其成为同类产品中极其坚固耐用的经济型真空计。

MAG和MPG Gemini现在提供EtherCAT现场总线和设定点MAG55x和MPG55x。

优势

在恶劣环境下,使用寿命长

可靠的快速点火

低杂散磁场

可选测量电流

快速维护 — 可更换电离室

耐腐蚀馈入装置和传感器元件

EtherCAT和RS232/RS485数字接口

紧凑尺寸,易于集成

2个继电器设定点(MxG55x)

应用范围

基础压力监测和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中,测量范围从大气压到高真空。

一般真空测量 — 工业炉、建筑玻璃、半导体、生产实验室。

分析和研发应用 — 质谱分析、电子显微镜、眼科、光学、医疗和高能物理。



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