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半导体质量流量控制器

ARA 5000 

特点

数字质量流量计

流量范围广: 5SCCM ~ 500SLM

高精度: ≤1% of S.P

快速响应时间: ≤1Sec

耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA

通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A

技术规格

型号ARA 5000 
流量范围(N2等效)5SCCM~30SLM
流量控制范围
2~100% of F.S
精确度≤±0.25%读数(2~25%量程)
≤±1.0%满量程(25~100%量程)
响应时间≤1秒(≤SEMI标准)
重复时间
≤±0.15%满量程
零稳定性<±0.5%满量程/年
温度系数0.01%满量程/℃
表面润湿材料
STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA)
密封件类型
METAL
泄漏完整性
≤5X10-12Paㆍm3/S(He)
工作温度范围
5~50˚C (Recommended : 15~35˚C)
预热时间
30min (Accuracy Guaranteed :60min)
最大入口压力
800 kPa(G)
工作压差
≥50kPa(D)
通讯
D-Net
电源/功耗
+15~24VDC, 3.6W max

质量流量控制器订购参数确认单


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