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电容薄膜式真空计

如左图,压力变化引起膜片不同层度的形变,使得膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道膜片上压力的变化。(膜片主要有两种材质:金属膜片和陶瓷膜片)

电容薄膜压力计,测量读数无关气体组分,主要受环境温度的影响(温度补偿),是测量差分或全部气体压力最准确的设备(包括蒸汽凝结、操作温度不规则的环境),目前已知产品最大测量压力为25000Torr,最低测量压力在10-5Torr左右。大部分精度为读数的0.25%,其中高精度有0.08%、0.025%。测量范围跨度一般有4个数量级或5个数量级。

应用

半导体行业蚀刻,CVD,PVD,ALD等

光伏行业,PECVD等

液晶显示屏制造设备

工业真空设备,标准真空计

国防科研应用

热电偶真空计

如右图,灯丝通过恒流源供电加热,由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化,灯丝温度引起热电偶电压(恒压)变化,根据电压变化测算出气压。(热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系)

测量的压力范围:10Torr至10-3Torr

应用

前级真空测量,如前级真空泵,镀膜,光伏,等离子行业

中低真空测量行业,如冶金

高真空计的连锁控制

皮拉尼真空计

如图,灯丝通过恒流源供电加热,由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化(恒温)引起电桥(惠斯通)电阻变化,根据电阻变化测算出气压。(热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系)

测量的压力覆盖范围:100Torr至10-3Torr(具体参考实际产品指标)

应用

前级真空测量,如前级真空泵,镀膜,光伏,等离子行业

中低真空测量行业,如冶金

高真空计的连锁控制

对流增强型皮拉尼真空计

Convectron&Convection真空规是结构同皮拉尼,其压力测量基于传感器导线的热损失率。与传统的热偶规和皮拉尼真空规仅使用传导性损失不同,热损失真空规由于在较高压时使用对流散热,从而充分利用了热损失技术。使测量范围延伸到大气端。

测量范围:10-4torr至1000Torr;精度优于一般皮拉尼真空规。

应用

前级真空测量,如前级真空泵,镀膜,光伏,等离子行业

中低真空测量行业,如冶金

高真空计的连锁控制

B-A型热离子真空计

热阴极离子规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极(阳极)加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下,压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度(压力)相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的,热阴极离子规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时精确的。

离子规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅极及其支撑网碰撞产生X射线。由于离子规的几何结构原因,仅有一小部分发射的X射线会被收集极收集。当X射线碰撞收集极丝时,收集极上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅极外有个柱状收集极,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时,X射线极限就决定了规管最小压力测量值。

电极被碳氢化合物污染后会使X射线极限增加,这是因为在X射线轰击下污染表面会放出更多的二次电子。这种污染通常可以通过电极除气来消除。

测量覆盖的范围:10-3Torr至2 × 10-11Torr(具体参考实际产品的指标)

应用

高真空及UHV真空测量

光学镀膜

冷阴极离子真空计

冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量,但与热阴极电离规不同的是,它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。冷阴极电离规无热灯丝,容易清洗保养。

测量覆盖范围:10-3Torr至7.5 × 10-11Torr(具体参考实际产品的指标)

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