半导体质量流量控制器
半导体质量流量控制器
MARU7000系列是 前，后段的压力变化里安全流量突出的‘Pressure Insensitive' 装裁技能提高产品的安全性. 而且 中，大流量里坚硬的螺线管阀门板低流量里坚硬的压电阀门全部提供给消费者多方面使用环境里可以选择使用。
特点
热感式 MFC
快速响应时间: ≤1Sec
高精度: ≤1% of S.P
耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
高流量稳定性: 强大的PI功能(10psi)
支持MGMR功能
通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技术规格
| 型号 | Maru 7000 | ||||
| 流量范围（N2等效） | 5SCCM~30SLM | ||||
| 流量控制范围 | 2~100% of F.S | ||||
| 精确度 | ≤±0.25%读数（2~25%量程） ≤±1.0%满量程（25~100%量程） | ||||
| 响应时间 | ≤1秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复时间 | ≤±0.15%满量程 | ||||
| 阀门关闭时的内部泄漏 | ≤0.01% of F.S | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 表面润湿材料 | STS316L VIM VAR & Electro-Polished(<0.1um RA) & Option :HASTELLOY | ||||
| 阀座 | METAL / PTFE | ||||
| 密封件类型 | METAL | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Paㆍm3/S(He) | ||||
| 工作温度范围 | 5~50˚C (Recommended : 15~35˚C) | ||||
| 预热时间 | 30min (Accuracy Guaranteed :60min) | ||||
| 压力不敏感 | ≤±2%of F.S Up/down to 10psi(69kPa)/sec | ||||
| 工作压差 | ≥50kPa(D) | ||||
| 通讯 | D-Net | ||||
| 电源/功耗 | +15~24VDC,7.2W max | ||||
| 阀门类型 | Normally ClosedSolenoid or Normally OpenedSolenoid | ||||
质量流量控制器订购参数确认单