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GMC1200流量/压力控制器

GMC1200流量压力控制器是给MFC(质量流量控制器)提供电源(±15VDC),流量显示,稳定的电压设置点(0 ~ 5VDC),使MFC能够准确地成为控制的装置。也可以用电容压力计代替MFC对压力进行显示。(0 - 10 VDC压力信号),如果你添加上游压力控制板作为选择选项,则可以另加压力控制模式,在连接各通道的MFC中,任意选择想要的通道,用气体的量可以自动控制想要的压力,同时压力也可以显示。

通过微处理器进行“控制”处理,而且还可以利用rs - 232接口进行“PC控制”操作。

特点

采用超高速微处理器。

使用(±电压显示)16位双A / D控制

容易辨认的LCD显示。

流量或压力的单位,用户可以直接设置。

2、4、6、8通道可选。

您可以通过连接电容压力计测定压力。

每个频道的流量都可以控制。

总流量累计功能

使用MFC与电容压力计,可选上游压力控制

技术规格

尺寸
宽*长*高 241mm*88mm*200mm
电气特性

输入功率
195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (最大) - 默认
98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可选
熔断器额定值
250 VAC @3 A
输出功率
+/-15VDC  ±5% @2.7A
工作温度
0 ~ 50°c
输入信号
0 ~ 5VDC for MFC
0 ~ 10VDC for 电容式压力计
输出信号
0 ~ 5VDC for MFC 指令
显示窗口
128*64 LCD显示器
显示单位
sccm, slm表示MFC, Torr表示CM
接口
RS - 232、TTL接口
质量流量控制器

MFC是“质量流量控制器”的缩写,气瓶上出来的气体,用户有时所需的是一定流量的值。虽然每个制造厂商都有一些差距,但一般都采用SCCM(标准立方厘米/分钟)。

特点

设计用于半导体制程和工业使用

满量程流量从5sccm至200slm

1%满量程的精度

可搭配GMC1200仪表显示,也可用于APC200、GPC3000等仪表组成压力控制系统

技术规格

流量范围(满量程)

AFC500/AFC600:5sccm至50slm

AFC770:51至200slm

最大进气压力

150psig

正常工作压差(与在大气压,MFC出口)

10至5000sccm

10000至20000sccm

AFC770


10至40 psid

15至40psid

40至70psid

精度(模拟量)

(包括760Torr和0℃下的非线性、滞后和非重复性)

±1%满量程

重复性

±0.2%满量程

分辨率

1%满量程

温度系数

零点

跨度

<0.05 % 满量程./°C

<0.05 % 满量程.

预热时间(达到稳态性能的0.2%以内)

<2分钟

控制器调节时间

<2sec

压力系数

<0.02 % of Rdg./psi

工作温度范围

0-50℃

电源

±15 VDC (±5%)

设定值命令信号

0-5Vdc

输出信号

0-5Vdc

法兰

VCR, LOK

接口

9针D-sub

材料

316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

外部泄漏完整性(scc/sec He)

通过关闭阀门

< 1×10(-9)

<1.0%的F.S.,在40 psig的大气入口(为确保无流量通过,建议使用单独的正压切断阀。)

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