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压力不敏感型质量流量控制器

Maru 7000 PI是压力不敏感型质量流量控制器,高性能数字控制回路可以实时控制和诊断流量,金属密封,通过EP抛光处理,耐腐蚀性强;压力传感器及控制回路的改善算法,响应速度、精度、重复性等性能提高,适用于严苛洁净的半导体行业(Semiconductor)。

特点

SEMI注册,三星电子Common SPEC

供给压力波动时也可以稳定的控制流量

快速响应和高精度

模拟与数字通讯都支持

流量、温度、压力、Mac ID、通讯速度等本体显示

MGMR功能(Multi Gas Range)

EP处理和金属密封,抗腐蚀性能优秀

技术规格

型号Maru 7000 PI
流量范围(N2基准)5sccm~50slm
流量控制范围
2 ~ 100%满量程
精度≤±1%读数(30~100%量程)
≤±0.35%满量程(5~35%量程)
响应速度≤1秒(≤SEMI标准)
重复性
≤0.2%满量程
压力不敏感≤±2%满量程 上/下浮动5psi/秒
零点稳定性<±0.5%满量程/年
温度系数0.01%满量程/℃
泄漏率<1 × 10E-11Pa·m³/秒(He)
工作压力50-300KPa
最大工作压力450KPa
阀门类型常闭阀
阀门关闭<1%满量程
密封种类金属密封
材质及抛光STS-316L,0.1uM Ra
电气连接及信号模拟:0-5VDC或4-20mA(15针D-Sub公头)
数字:RS485(15针D-Sub公头)
DeviceNet协议(专用接口)
电源+15VDC~+24VDC
操作温度操作温度:10-50℃(推荐15~35℃)
预热时间30分钟(准确度保证:60分钟)
法兰连接1/4"LOK或VCR(根据型号)

质量流量控制器订购参数确认单


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