成都四洋科技有限公司官方网站

分子泵应用及故障处理

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。

由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,致使反流增加,抽气能力下降。

一、工作条件

转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。

气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。

二、特点

油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。

脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。

三、其他常见应用

分析(质谱分析、电子显微镜等)

半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

光学/玻璃(热保护、增透、反射、光学滤光膜)

镀膜(表面保护、装饰涂料、显示器、屏幕)

真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金)

泄露检测(真空系统、车辆的油箱、安全气囊)

研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理、核聚变研究,激光应用和许多更多)

灯生产行业及相关


四、分子泵故障处理

1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?

原因:附近有光照或其他热源

解决方法:避免光照或热源

2、分子泵使用中发生油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

原因:冷却不良,负载太大

解决方法:检查冷却系统,检查真空系统

3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?

原因:负载太大,系统真空度不够

解决方法:检查系统

4、分子泵轴承为什么会烧毁

原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?

原因:防护网破裂,前级管道破裂

解决方法:优化系统设计

6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?

原因:油池破裂或密封不良

解决方法:检查油池

7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

原因:过热、负载大

解决措施:检查冷却系,检查系统

8、分子泵中经常掉出顶丝、螺钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?

原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

解决方式:应是偶尔发生的事情,可能随时平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?

答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?

答:①电压不稳②强干扰③高压打火④人为解密

11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?

答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境

12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?

答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机,碎泵、油变黑等。

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是最佳的方式?

答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?

答:原因:电压低

15、分子泵叶片破碎的原因:

答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:

①误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄,或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。

②是异物掉入:没有安装过滤网肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。

③电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损失较大。

④前级泵的效率差:我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。

⑤分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。

⑥轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。



                                                                                                                                                                                                                                                                                         






来源:真空行业知识圈



版权所有© 成都四洋科技有限公司官方网站    蜀ICP备14007155号    技术支持: 竹子建站