气体混合系统
气体混合系统
质量流量控制型-气体混合系统,主要核心部件是气体质量流量控制器(Mass Flow Controller),可进行各类气体的定量混合,比例混合等,适用于各类实验室气体混合应用,支持已知各种气体,自带电脑软件,可在电脑上远程监控实时混合情况。
各组气体流量范围支持从2毫升/分钟至3000升/分钟(其它流量混合请咨询)。
技术规格
气体混合系统 | GMS |
支持气路 | 至多8路气体混合(其它请咨询) |
气体控制原理 | 热式质量流量控制,压力式 |
准确性 | ±1%F.S(可选±1%Rd),≤50L/min ±1%F.S,50L至400L/min ±2%F.S,400L至2000L/min ±2.5%F.S,2000L至3000L/min |
线性 | ±0.2%F.S |
响应时间 | ≤1 sec,≤200L/min时 ≤2 sec,200L至3000L/min时 |
压力事项 | 根据现场工况 |
预热时间 | 15分钟(30分钟精度保证) |
工作温度 | 5-50℃ |
电源 | 220V AC |
连接方式 | LOK、VCR、ISO法兰等 |
密封 | 橡胶密封,金属密封可选 |
显示 | 现场显示:实时流量,累计流量 PC显示:实时流量,累计流量,流量曲线 |
其它选项* | 1.CDG(薄膜压力计):实时监测下游压力,精度可达±0.2%压力读数 2.排气节流阀(或其它阀门):实时控制下游腔体混气压力 |
*其它选项产品(具体请咨询):
1.CDG薄膜压力计型示意图
2.真空阀门型示意图