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质量流量控制型-气体混合系统

质量流量控制型-气体混合系统,主要核心部件是气体质量流量控制器(Mass Flow Controller),可进行各类气体的定量混合,比例混合等,适用于各类实验室气体混合应用,支持已知各种气体,自带电脑软件,可在电脑上远程监控实时混合情况。

各组气体流量范围支持从2毫升/分钟至3000升/分钟(其它流量混合请咨询)。

技术规格

气体混合系统SY-GMS
支持气路至多8路气体混合(其它请咨询)
气体控制原理热式质量流量控制,压力式
准确性±1%F.S(可选±1%Rd),≤50L/min
±1%F.S,50L至400L/min
±2%F.S,400L至2000L/min
±2.5%F.S,2000L至3000L/min
线性±0.2%F.S
响应时间≤1 sec,≤200L/min时
≤2 sec,200L至3000L/min时
压力事项根据现场工况
预热时间15分钟(30分钟精度保证)
工作温度5-50℃
电源220V AC
连接方式LOK、VCR、ISO法兰等
密封橡胶密封,金属密封可选
显示现场显示:实时流量,累计流量
PC显示:实时流量,累计流量,流量曲线
其它选项*1.CDG(薄膜压力计):实时监测下游压力,精度可达±0.2%压力读数
2.排气节流阀(或其它阀门):实时控制下游腔体混气压力

*其它选项产品(具体请咨询):

1.CDG薄膜压力计型示意图


2.真空阀门型示意图


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