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残余气体分析仪

INFICON LINXON myRGA 是可靠的残余气体分析仪 (RGA), 拥有为气体分析, 检漏和污染检测所需的高性能和低价格. 这种简单易用的 RGA 具有业界领先的最小可检测分压强 (MDPP), 信噪比和数据收集速度. 该气体分析仪提供了低总体拥有成本和高平均故障间隔时间 (MTBFs) 的经济而有效的解决方案。

LINXON myRGA 专为需要这种经过验证的 RGA 的强劲性能的一般真空和 R&D 应用而设计. 您可选择 100 或 200 amu 的质量范围, 仪器提供了高水平的性能. 此外, myRGA 可装备标准的法拉第杯检测器或可选的电子倍增器, 用于需要监测低含量气体浓度能力的应用中.
用于 myRGA 传感器的现代化离子源设计将两根灯丝集成在阳极, 阴极和反射极的组装件中. 双灯丝设计中包含一根可使 RGA 具有最大上线时间的备用灯丝. 使用 myRGA, 还可获得特定应用的灯丝选择 (钨丝用于含卤素的过程或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程), 确保过程本身不会缩短灯丝的寿命. 更换 myRGA 中的灯丝套件相当于更换 传统 RGAs 的整个离子源, 节约成本, 从而大大地降低总体拥有成本.
传感器的另一个关键特征是能够在与质谱仪并行运行的同时测量总压强. 这个压强测量可用于灯丝的过压保护.

特点

快速的数据收集

机载网页服务器

LabVIEW 软件开发套件

TCP/IP 以太网连接

双灯丝

可现场更换灯丝, 离子源和电子倍增器

可互换的传感器和电子学设备

RoHS 认证

应用

一般工业应用

科研

技术规格


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