高精度电容薄膜真空计
高精度电容薄膜真空计
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
优秀的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
应用
半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量
技术规格（基于Torr的标准产品）
| 满量程范围（Torr） | 1000 | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 精度 （ 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应） | 0.2%读数 | 0.5%读数 | ||||
| 温度效应 在零点 在满量程 | 0.005%满量程/℃ 0.01%读数/℃ | 0.015%满量程/℃ 0.01%读数/℃ | 0.02%满量程/℃ 0.02读数/℃ | |||
| 分辨率 | 0.003%满量程 | |||||
| 较大压强（绝对压力） | 400Kpa | 260Kpa | 130Kpa | |||
| 响应时间 | 30ms | 130ms | ||||
| 较低压强读值 | 0.01%满量程 | |||||
| 较低建议压强 | 0.05%满量程 | |||||
| 较低建议控制 压强（排气节流阀联控时） | 0.5%满量程 | |||||
| 电源电压 功率 | +14至+30Vdc ≤1 W | |||||
| 输出信号 | 0至+10V模拟量 | |||||
| 电气连接件 | D-sub 15针 | |||||
| 工作温度 | +5至+50℃ | |||||
| 烘烤温度 | ≤110℃法兰处（未运行） | |||||
| 安装方位 | 垂直 水平（要求） | |||||
| 防护等级 | IP30 | |||||
1.其它满量程请咨询
2.设定点继电器,RS232C仅CDG025D-S
订购资料
CDG025D,温度补偿型
| 满量程范围 | 1/2"英寸管 | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8VCR |
| 1000Torr | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
| 100Torr | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
| 10Torr | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
| 1Torr | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
| 0.1Torrr | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D-S,2个设定点,RS232接口,温度补偿型
| 满量程范围 | 1/2"英寸管 | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8VCR | ||
| 1000Torr | 133KPa | 1333mbar | 375-300 | 375-301 | 375-302 | 375-303 |
| 110Kpa | 1100mbar | 375-500 | 375-501 | 375-502 | 375-503 | |
| 200Torr | 26.6Kpa | 267mbar | 382-300 | 382-301 | 382-302 | 382-303 |
| 100Torr | 13Kpa | 133mbar | 376-300 | 376-301 | 376-302 | 376-303 |
| 10Kpa | 100mbar | 376-500 | 376-501 | 376-502 | 376-503 | |
| 20Torr | 2.66Kpa | 26.7mbar | 383-300 | 383-301 | 383-302 | 383-303 |
| 10Torr | 1.3Kpa | 13mbar | 377-300 | 377-301 | 377-302 | 377-303 |
| 1Kpa | 10mbar | 377-500 | 377-501 | 377-502 | 377-503 | |
| 1Torr | 133Pa | 1.3mbar | 378-300 | 378-301 | 378-302 | 378-303 |
| 100Pa | 1mbar | 378-500 | 378-501 | 378-502 | 378-503 | |
| 0.25Torr | 33.3Pa | 0.33mbar | 385-300 | 385-301 | 385-302 | 385-303 |
| 0.1Torrr | 13.3Pa | 0.13mbar | 379-300 | 379-301 | 379-302 | 379-303 |
| 10Pa | 0.1mbar | 379-500 | 379-501 | 379-502 | 379-503 | |