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高精度电容薄膜真空计

INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.独特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。

特点

满量程范围从0.1乇至1000乇

通电后快速稳定性

暴露大气压的快速恢复性

抗腐蚀的陶瓷传感器

卓越的长期讯号稳定性

温度补偿

传感器有防污染保护

一键调零功能

宽范围电源

两个设点 (可选)

RS232 接口 (可选)

应用

半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD

数据存储和OLED,LCD制造设备

工业真空设备

混气实验设备

一般高精度压力测量

技术规格(基于Torr的标准产品)

满量程范围(Torr)
1000
1001010.1
精度
( 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应)
0.2%读数0.5%读数
温度效应
在零点
在满量程

0.005%满量程/℃
0.01%读数/℃

0.015%满量程/℃
0.01%读数/℃

0.02%满量程/℃
0.02读数/℃
分辨率0.003%满量程
最大压强(绝对压力)400Kpa260Kpa130Kpa
响应时间30ms130ms
最低压强读值0.01%满量程
最低建议压强0.05%满量程
最低建议控制
压强(排气节流阀联控时)
0.5%满量程
电源电压
功率
+14至+30Vdc
≤1 W
输出信号0至+10V模拟量
电气连接件
D-sub 15针
工作温度
+5至+50℃
烘烤温度≤110℃法兰处(未运行)
安装方位垂直
水平(要求)
防护等级IP30

1.其它满量程请咨询

2.设定点继电器,RS232C仅CDG025D-S

订购资料

CDG025D,温度补偿型


满量程范围1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
8VCR
1000Torr375-000375-001
375-002
375-003
100Torr376-000376-001
376-002
376-003
10Torr377-000377-001
377-002
377-003
1Torr378-000378-001
378-002
378-003
0.1Torrr379-000379-001
379-002
379-003

CDG025D-S,2个设定点,RS232接口,温度补偿型


满量程范围1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
8VCR
1000Torr
133KPa1333mbar375-300375-301
375-302
375-303

110Kpa
1100mbar375-500375-501
375-502
375-503
200Torr26.6Kpa267mbar382-300382-301
382-302
382-303
100Torr
13Kpa133mbar376-300376-301
376-302
376-303

10Kpa100mbar376-500
376-501
376-502
376-503
20Torr2.66Kpa26.7mbar383-300
383-301
383-302
383-303
10Torr
1.3Kpa13mbar377-300377-301
377-302
377-303

1Kpa10mbar377-500
377-501
377-502
377-503
1Torr
133Pa1.3mbar378-300378-301
378-302
378-303

100Pa1mbar378-500
378-501
378-502
378-503
0.25Torr33.3Pa0.33mbar385-300
385-301
385-302
385-303
0.1Torrr
13.3Pa0.13mbar379-300379-301
379-302
379-303

10Pa0.1mbar379-500
379-501
379-502
379-503
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