Atovac
GVC2200
真空计控制器
4 × 10E-10至1000 Torr
ACM200
电容薄膜真空计
1,2,10,100,1000满量程
GPC3000
流量&压力控制器
配合MFC+蝶阀压力控制
APC200
AFC500/770
质量流量控制器
5sccm至200slm
GMC1200
MFC控制器
匹配AFC系列
ATV1000
排气节流阀
压强控制系统