数字式质量流量控制器-橡胶密封
数字式质量流量控制器-橡胶密封
VIC-D200系列数字式MFC,产品同时支持传统模拟量和RS485数字信号,满足大部分气体控制的通用需求,气体通路为不锈钢材质,适用于所有气体或高压环境。
特点
全测量区间内响应速度≤1秒
Teflon密封,对有毒及腐蚀性气体耐久性强
没有DISK变形,半永久使用保障
适用浪涌和过电压的内部电路设计
维持准确度,温度变化不敏感
技术规格
型号 | VIC-D210 | VIC-D220 | VIC-D230 | VIC-D240 | VIC-D245 |
流量范围(N2基准) | 5sccm ~ 1.5slm | 1.5slm~50slm | 50slm~100slm | 100slm~200slm | 200slm~400slm |
流量控制范围 | 2 ~ 100%满量程 | ||||
精度 | ≤1%满量程 | ||||
响应速度 | ≤1秒(10~100%满量程) | ≤1.2秒 | |||
重复性 | ≤0.2%满量程 | ||||
阀门类型 | 常闭阀 | ||||
密封种类 | Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等 | ||||
电气连接及信号 | 9针D-Sub公头 模拟:0-5VDC或4-20mA 数字:RS485 | ||||
电源 | +15VDC~+24VDC | ||||
操作温度 | 操作温度:5-50℃(推荐15~35℃) | ||||
预热时间 | 15分钟(准确度保证:30分钟) | ||||
法兰连接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR(根据型号) | ||||
重量 | 0.95Kg | 0.97Kg | 1.33Kg | 1.87Kg | 3.3Kg |
产品尺寸
流量压力事项
质量流量控制器订购参数确认单